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유도 결합 플라즈마를 이용한 Fence free Ta₂O5 박막 식각에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2021 .10
TiO₂ 메타렌즈 형성을 위한 다양한 펄스 플라즈마 식각과 메커니즘 분석
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2021 .12
나노 반도체 소자를 위한 펄스 플라즈마 식각 기술
한국표면공학회지
2015 .12
Optimized Process Analysis of SiO₂ etch using CFD Simulation
대한전자공학회 학술대회
2017 .01
펄스 플라즈마 기술을 통한 Si trench 의 aspect ratio dependent etching 개선에 대한 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2021 .12
나노패턴을 위한 CF₄/C₄F8/Ar 유도결합 플라즈마에서의 Si 및 SiO₂ 식각 메커니즘 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2015 .11
TiO₂ Metalens 형성을 위한 다양한 펄스 플라즈마 식각
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2022 .06
습식화학공정에 의한 광촉매용 TiO2 3차원 나노구조체 제조 연구
한국분말야금학회지
2020 .01
Inductively Coupled Plasma를 이용한 SnO 박막의 식각 특성 연구
한국표면공학회지
2016 .02
Thermal Cycling Test for Eco-friendly PTC Thermistor in Ba0.97(Bi0.5Na0.5)0.03TiO₃ System
한국신뢰성학회 학술대회논문집
2015 .05
A new patterning technique for fabricating high-aspect-ratio complex nanostructures by plasma ion-etching process
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
2017 .10
건식 식각 공정 쿼츠의 제작방식에 따른 부품 식각에 관한 연구
대한전자공학회 학술대회
2021 .11
전기화학적 TiO₂ 나노 구조 형성을 통한 에너지 응용
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2018 .11
할로겐 플라즈마에 의한 Ge<sub>2</sub>Sb<sub>2</sub>Te<sub>5</sub> 식각 데미지 연구
반도체디스플레이기술학회지
2019 .01
Si 기반의 기능성 TiO₂ 담체 분말의 특성
한국콘크리트학회 학술대회 논문집
2016 .05
Aspect ratio에 따른 Inductively coupled Plasma 특성 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2018 .10
Aspect ratio에 따른 Inductively coupled Plasma 특성 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2019 .07
유기 킬레이터 물질의 고밀도 플라즈마를 이용한 구리 박막의 나노미터 스케일 식각
전기전자재료학회논문지
2021 .01
양극산화된 TiO₂ 나노구조의 가시광 반응 특성
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2020 .06
펄스 플라즈마를 이용한 식각
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2018 .11
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