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HBr/Ar의 고밀도 플라즈마를 이용한 Indium Zinc Oxide 투명전극의 건식 식각 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .08
CoFeB과 IrMn 자성 박막의 고밀도 반응성 이온 식각
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .02
Cl₂/Ar를 이용한 Cr 박막의 반응성 이온 식각
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .02
자성 메모리를 위한 나노미터 크기의 자기터널접합 구조의 고밀도 플라즈마 식각
한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집
2005 .12
유도결합형 BCl3 / HBr / Ar계 플라즈마를 이용한 sapphire 식각 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2003 .02
유도결합형 HBr / Cl₂ 플라즈마를 이용한 shallow trench 식각특성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1997 .02
실리콘 트렌치 식각 특성에 미치는 He - O₂ SiF₄ 첨가 가스의 영향
Applied Science and Convergence Technology
1997 .11
TCP 장치에서 Cl₂ / He / HBr을 이용한 Poly - Si 건식식각시 발생하는 진행성 etch rate 감소 현상 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1997 .02
SF6 플라즈마를 이용한 텅스텐 박막의 반응성 이온 식각
한국진공학회 학술발표회초록집
1992 .07
ICP Poly Etcher를 이용한 RF Power와 HBr Gas의 변화에 따른 Polysilicon의 건식식각
Applied Science and Convergence Technology
2006 .11
Pt 박막의 반응성 이온식각
Applied Science and Convergence Technology
1996 .09
반응성 이온 식각 공정을 활용한 다결정 실리콘 태양전지의 표면 특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .02
유도결합 Cl₂ 및 HBr / Cl₂ 플라즈마를 이용한 STI용 실리콘 Shallow trench 식각공정에 관한 연구
Applied Science and Convergence Technology
1997 .08
발광 분광 분석법 및 잔류가스 분석기를 이용한 NF₃ 플라즈마 반응성 이온 식각 장치의 실리콘 식각 진단 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .08
SF6 플라즈마를 이용한 텅스텐 실리사이드 박막의 반응성 이온 식각
한국진공학회 학술발표회초록집
1993 .02
자화된 고밀도 유도결합형 플라즈마를 이용한 PZT 식각특성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .02
집속이온빔을 이용한 구리 기판위에 성장한 MgO 박막의 스퍼터링 수율
Applied Science and Convergence Technology
2001 .12
이온빔 식각을 통한 저마찰용 표면 구조 제어 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .02
Reactive Ion Etching with High Density Plasma for Two-Step Texturing
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .02
진공아크 증착법과 다른 공정에 의해 증착된 MgO 박막 특성 비교
Applied Science and Convergence Technology
2003 .06
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