HBr/Ar의 고밀도 플라즈마를 이용한 Indium Zinc Oxide 투명전극의 건식 식각 특성

이도영; 정지원

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 이도영 (인하대학교) 정지원 (인하대학교)

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제35회 하계정기학술대회 초록집

발행연도: 2008.8

수록면: 308 - 308 (1page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2008

HBr/Ar의 고밀도 플라즈마를 이용한 Indium Zinc Oxide 투명전극의 건식 식각 특성

이도영 , 정지원 한국진공학회 학술발표회초록집 2008.08 학술대회자료

Cl₂/Ar 가스를 이용한 Gallium Indium Zinc Oxide (GIZO) 박막에 대한 유도 결합 플라즈마 반응성 이온 식각

이도영 , 김종성 , 정지원 한국진공학회 학술발표회초록집 2008.08 학술대회자료

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이도영

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주요연구분야 공학 > 건축공학 > 건축공학 일반 자연과학 > 물리학

논문수 5 이용수 262

정지원

소속기관 한양대학교

주요연구분야 자연과학 > 물리학

논문수 10 이용수 302

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