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이용수
1993
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 실험방법
Ⅲ. 결과 및 고찰
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
SF6 플라즈마를 이용한 텅스텐 실리사이드 박막의 반응성 이온 식각
한국진공학회 학술발표회초록집
1993 .02
SF6 유도결합형 플라즈마를 이용한 6H - SiC와 GaN의 식각 End - point 측정에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2004 .02
자장 인가된 SF6계 유도결합형 플라즈마를 이용한 SiC 식각 특성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2003 .08
Cl₂/Ar를 이용한 Cr 박막의 반응성 이온 식각
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .02
발광 분광 분석법 및 잔류가스 분석기를 이용한 NF₃ 플라즈마 반응성 이온 식각 장치의 실리콘 식각 진단 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .08
자화된 유도결합형 플라즈마를 이용한 Al - Nd 박막의 식각특성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .07
열플라즈마를 이용한 SF6열분해 처리 공정 전산해석
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
자화된 유도결합 플라즈마에서의 SF₆/O₂ 특성 및 Silicon Via에 대한 식각 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .02
Pt 박막의 반응성 이온식각
Applied Science and Convergence Technology
1996 .09
반응성 이온 식각 공정을 활용한 다결정 실리콘 태양전지의 표면 특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .02
유도 결합 플라즈마를 이용한 6H - SiC 식각 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1998 .07
자성 메모리를 위한 나노미터 크기의 자기터널접합 구조의 고밀도 플라즈마 식각
한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집
2005 .12
유도 결합형 플라즈마를 이용한 GaN 식각 특성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1997 .02
산소 플라즈마 표면 처리된 이황화텅스텐 박막을 이용한 효율적 수소 발생 반응
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .02
HBr 가스를 이용한 MgO 박막의 고밀도 반응성 이온 식각
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .02
유도결합형 산소 플라즈마를 이용한 다공성 폴리머 필름의 식각 특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .08
Cl₂/Ar 가스를 이용한 Gallium Indium Zinc Oxide (GIZO) 박막에 대한 유도 결합 플라즈마 반응성 이온 식각
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .08
150㎜ GaAs 웨이퍼의 플라즈마 식각에서 식각 깊이의 균일도에 대한 가스 흐름의 최적화 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2002 .02
NF3 플라즈마 식각 진단 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
ECR 플라즈마 식각장치의 고진공 시스템제작 및 반도체 식각특성연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1991 .07
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