유도결합형 BCl3 / HBr / Ar계 플라즈마를 이용한 sapphire 식각 연구

이효영; 김동우; 정창현; 염근영

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 이효영 김동우 정창현 염근영

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제24회 학술발표회초록집

발행연도: 2003.2

수록면: 215 - 215 (1page)

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정창현

소속기관 한국표면공학회

주요연구분야 자연과학 > 물리학 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반

논문수 15 이용수 540

염근영

소속기관 성균관대학교

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UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2009-554-018042579

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	저자 메타	소속기관, 소속부서, 직급, 연구분야, 연구키워드, 이용수, 피인용수, 저자 논문활용도

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