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한국자기학회 한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집 한국자기학회 2005년도 정기총회 동계학술연구발표회 및 제2차 아시안포럼 논문개요집 (제15권 2호)
발행연도
2005.12
수록면
184 - 185 (2page)

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자성 메모리에 응용을 위한 자기터널접합(magnetic tunnel junction) 구조에 대한 고밀도 플라즈마 반응성 이온 식각이 Cl₂/Ar과 BCl₃/Ar의 식각가스를 사용하여 조사되었다. 얇은 TiN 하드마스크가 식각을 위한 마스크로 사용되었으며 이에 대한 식각공정도 연^_@span style=color:#999999 ^_# ... ^_@/span^_#^_@a href=javascript:; onclick=onClickReadNode('NODE00664521');fn_statistics('Z354','null','null'); style='color:#999999;font-size:14px;text-decoration:underline;' ^_#전체 초록 보기^_@/a^_#

목차

국문초록

1. 서론

2. 실험방법

3. 실험결과 및 고찰

4. 결론

5. 참고문헌

참고문헌 (0)

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