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저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제12회 학술발표회논문개요집
발행연도
1997.2
수록면
230 - 230 (1page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

1998

Cl₂/HBr,Cl₂/N₂ 평판형 유도결합 플라즈마를 이용한 식각 공정시 발생하는 결함의 거동에 관한 연구
이영준 ,  황순원 ,  이주욱 외 2명 한국표면공학회 학술발표회 초록집 1998.05 학술대회자료

1997

유도결합형 HBr / Cl₂ 플라즈마를 이용한 shallow trench 식각특성에 관한 연구
이영준 ,  이주훈 ,  안경준 외 3명 한국진공학회 학술발표회초록집 1997.02 학술대회자료

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