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반응성 이온 식각 공정을 활용한 다결정 실리콘 태양전지의 표면 특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .02
자성 메모리를 위한 나노미터 크기의 자기터널접합 구조의 고밀도 플라즈마 식각
한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집
2005 .12
Reactive Ion Etching with High Density Plasma for Two-Step Texturing
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .02
Pt 박막의 반응성 이온식각
Applied Science and Convergence Technology
1996 .09
C4F8/Ar 플라즈마를 이용한 SiO2 원자층 식각에서 활성종 구성 비율에 따른 식각 특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
이온 빔 식각을 통한 초발수성 금속 표면의 개발
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .02
CHF₃ / C₂F6 반응성이온 건식식각에 의해 형성되는 실리콘 표면변형의 회복에 관한 연구 (Ⅱ)
한국진공학회 학술발표회초록집
1992 .02
SiO₂ 식각을 위한 low angle forward reflected neutral beam 식각 system에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2002 .02
CHF₃ / C₂F6 반응성이온 건식식각에 의해 형성되는 실리콘 표면의 잔류층 및 손상층에 관한 연구 (Ⅰ)
한국진공학회 학술발표회초록집
1992 .02
O₂/SF₆/CH₄ 플라즈마를 이용한 플렉시블 Polycarbonate와 PMMA의 건식 식각
Applied Science and Convergence Technology
2009 .03
Cl₂/Ar를 이용한 Cr 박막의 반응성 이온 식각
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .02
플라즈마 이온 식각공정에서의 미세 식각 형상에 관한 이론적 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1994 .02
발광 분광 분석법 및 잔류가스 분석기를 이용한 NF₃ 플라즈마 반응성 이온 식각 장치의 실리콘 식각 진단 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .08
표면처리 및 코팅 공정을 위한 선형이온소스 구조 최적화 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .02
중성빔 식각과 중성빔 원자층 식각기술을 이용한 TiN/HfO2 layer gate stack structure의 저 손상 식각공정 개발
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .02
라디칼 손실 제어를 통한 고선택비 산화막 식각
한국진공학회 학술발표회초록집
1995 .06
플라즈마 식각공정에서 Radial Basis Function Neural Network Model를 이용한 식각 종료점 검출
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .02
Low angle forward reflection 중성빔 식각 장비를 이용한 high-k 유전체 물질의 식각 특성 관찰
한국진공학회 학술발표회초록집
2007 .02
SF6 플라즈마를 이용한 텅스텐 박막의 반응성 이온 식각
한국진공학회 학술발표회초록집
1992 .07
150㎜ GaAs 웨이퍼의 플라즈마 식각에서 식각 깊이의 균일도에 대한 가스 흐름의 최적화 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2002 .02
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