Introduction to poly etcher using VHF - ICP source for next generation etch processing

Gi-chung Kwon ,  Hong-Seub Kim ,  Seong-Hyuk Choi 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2004 .08

300 mm wafer용 ICP dry etcher의 수치 모델링

주정훈 ,  김남헌

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .02

ICP Poly Etcher를 이용한 RF Power와 HBr Gas의 변화에 따른 Polysilicon의 건식식각

남상훈 ,  현재성 ,  부진효

Applied Science and Convergence Technology

2006 .11

Effect of Multiple Radio-Frequency on Sputter Etching & Ashing in Dual Coil ICP Etcher

Haegyu Jang ,  Min-Shik Kim ,  Kun-Joo Pa 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .02

ICP Poly etcher의 RF power와 HBr gas의 변화에 따른 output parameters의 변화

남상훈 ,  현재성 ,  배인섭 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2006 .08

ICP dry etcher에서 세라믹 리드의 온도 조절에 의한 폴리머 증착 양상 수치 모델링

김한빛 ,  주정훈

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .08

Newly Designed Ion Beam Etcher with High Etch Rate

Hee-Woon Cheong

Journal of Magnetics

2015 .12

Dry Etcher에서 ESC의 중요성

김남헌

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .08

ICP가 sputtered poly - Si thin film에 미치는 영향

주정훈 ,  박원규

한국진공학회 학술발표회초록집

2000 .02

Selective Etching of Magnetic Layer Using CO/NH₃ in an ICP Etching System

J. Y. Pa ,  k ,  S.-K Kang 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2010 .02

Etcher용 상부전극의 Life Time 평가 방법 연구

노승완 ,  송제범 ,  신재수 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2010 .08

Effect of Multiple Radio-Frequency on Sputter Etching in Dual Coil Inductively Coupled Plasma Etcher

Haegyu Jang ,  Min-Shik Kim ,  Kun-Joo Pa 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2008 .08

Etcher 전극용 플라즈마 전해산화 피막의 특성 평가 기술

민관식 ,  차덕준 ,  윤주영 외 6명

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .02

Anisotropic etching of polysilicon in a Cl₂/ CH₃Br / O₂ Plasma

Whi Kun Yi

Journal of Korean Vacuum Science & Technology

1999 .04

Enhanced Light trapping Approaches utilizing ICP-RIE dry etching for high efficiency P-I-N Thin-Film Silicon Solar Cells

김명준 ,  김정수 ,  신동기 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2018 .02

Applications of fluid based plasma simulation : dry etch

주정훈

한국진공학회 학술발표회초록집

2018 .02

ICP-MS를 이용한 poly-silicon 중 boron 분석

김선혜 ,  김창록 ,  양정환 외 1명

한국분석과학회 학술대회

2013 .05

ICP-MS와 LA-ICP-MS를 이용한 보다 효율적인 미량원소 분석법 연구

한승희 ,  김태훈 ,  이종익 외 4명

대한지질학회 학술대회

2013 .10

Honeycomb structure using ICP-RIE dry etching for improved light management in HIT solar cell

Sangho KIM ,  Jinjoo PARK ,  Duy Phong PHAM 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

Study on etching-shape of ZnO Film by wet-chemical etching

Dong Geun Yoo ,  Myoung Hwa Kim ,  Seong Hun Jeong 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2007 .08