Study on wet-chemical etching characteristic of ZnO Film by acid solutions

Myoung Hwa Kim ,  Dong Geun Yoo ,  Seong Hun Jeong 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2007 .08

투명 전도성 산화물 전극으로의 응용을 위한 산화아연(ZnO) 코팅막의 습식 식각 특성연구

유동근 ,  김명화 ,  정성훈 외 1명

Applied Science and Convergence Technology

2008 .01

The Effect of Three-Dimensional Morphology with Wet Chemical Etching in Solar Cells

Hyunyub Kim ,  Jangho Pa ,  k 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2013 .02

Magnetic Properties of Co-Pt Thin Films by Using a Wet Etching Process

Chang-Hyoung Lee ,  Geun-Hee Jeong ,  Jung-Kab Pa 외 5명

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

2008 .06

Selective Etching of Magnetic Layer Using CO/NH₃ in an ICP Etching System

J. Y. Pa ,  k ,  S.-K Kang 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2010 .02

Etching Characteristics of Au Film using Capacitively Coupled CF4/Ar Plasma

Kim ,  Gwang-Beom ,  Hong 외 1명

동굴

2007 .01

Plasma Dry Etching 방법에 의한 Wafer Backside Etch 특성 평가

한영기 ,  서영수 ,  유재하 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .08

ETCHING TIME DEPENDENCE OF MAGNETIC PROPERTIES IN ONE SIDE ETCHED Co - BASED RIBBON

Lan Jin ,  CheolGi Kim ,  SeokSoo Yoon 외 1명

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

2005 .06

원자층 식각기술

염근영

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .02

Etch Characteristics of FePt Magnetic Thin Films Using Inductively Coupled Plasma Reactive Ion Etching

Eun Ho Kim ,  Yu Bin Xiao ,  Hwa Won Lee 외 1명

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

2010 .12

Micro-pyramidal structure fabrication by Si (100) KOH wet etching

Shinae Hwang ,  Kyungsuk Lim ,  Hyeseon Shin 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .02

C₃F₆O 가스를 이용한 SiO₂에 대한 식각 특성 분석

김선웅 ,  양경채 ,  이호석 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .08

Capacitively Coupled Plasma Source를 이용한 Etcher의 상부 전극 온도 변화에 따른 Etch 특성 변화 개선

신한수 ,  노용한 ,  이내응

Applied Science and Convergence Technology

2011 .09

플라즈마 식각 공정에서의 미세구조 식각에 관한 이론적 연구

이창덕 ,  박상규

Applied Science and Convergence Technology

1994 .03

RIE Damage Remove Etching Process for Solar Cell Surface Texturing Using the TMAH Etching

오정화 ,  공대영 ,  조준환 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .02

ETCHING CHARACTERISTICS OF MAGNETIC THIN FILMS BY ION BEAM TECHNIQUE

H. C. Lee ,  S. D. Kim ,  S. H. Lim 외 3명

한국자기학회지

1995 .10

Defects Evaluation of Blue Light Emitting Materials by Wet Etching and Transmission Electron Microscopy

Soon-Ku Hong ,  Bong-Jin Kim

한국진공학회 학술발표회초록집

1998 .02

Properties of Interfacial layer at Hf-silicate films by wet etching condition

J. K. Pa ,  k ,  Yonghan Roh

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .02

Satistical Analysis of SiO₂ Contact Hole Etching in a Magnetically Enhanced Reactive Ion Etching Reactor

Chunli Liu ,  B. Sh ,  aune

Journal of Magnetics

2010 .09

Applications of fluid based plasma simulation : dry etch

주정훈

한국진공학회 학술발표회초록집

2018 .02