Effect of Multiple Radio-Frequency on Sputter Etching & Ashing in Dual Coil ICP Etcher

Haegyu Jang; Min-Shik Kim; Kun-Joo Park; Heeyeop Chae

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: Haegyu Jang (성균관대학교) Min-Shik Kim (DMS) Kun-Joo Park (DMS) Heeyeop Chae (DMS)

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제36회 동계학술대회 초록집

발행연도: 2009.2

수록면: 282 - 282 (1page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2009

Effect of Multiple Radio-Frequency on Sputter Etching & Ashing in Dual Coil ICP Etcher

Haegyu Jang , Min-Shik Kim , Kun-Joo Pa 외 2명 한국진공학회 학술발표회초록집 2009.02 학술대회자료

2008

Effect of Multiple Radio-Frequency on Sputter Etching in Dual Coil Inductively Coupled Plasma Etcher

Haegyu Jang , Min-Shik Kim , Kun-Joo Pa 외 2명 한국진공학회 학술발표회초록집 2008.08 학술대회자료

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Haegyu Jang

소속기관 Sungkyunkwan University(SKKU)

주요연구분야 자연과학 > 물리학 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반

논문수 16 이용수 326

Min-Shik Kim

소속기관 DMS

주요연구분야 자연과학 > 물리학

논문수 2 이용수 16

Kun-Joo Park

소속기관 DMS

주요연구분야 자연과학 > 물리학

논문수 2 이용수 16

Heeyeop Chae

소속기관 성균관대학교

주요연구분야 자연과학 > 물리학 TOP 5% 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반

논문수 89 이용수 3,398

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