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Dry Etcher에서 ESC의 중요성
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2017 .08
300 mm wafer용 ICP dry etcher의 수치 모델링
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .02
ICP dry etcher에서 세라믹 리드의 온도 조절에 의한 폴리머 증착 양상 수치 모델링
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .08
Effects of Sealing Time of Anodic Aluminum Oxide (AAO) for Upper Electrode of Etcher
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .02
Plasma Etcher Chamber Wall Condition Analysis Using Actinometry
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .08
Study on dry-etching of polysilicon films using ICP poly etcher system
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .08
Introduction to poly etcher using VHF - ICP source for next generation etch processing
한국진공학회 학술발표회초록집
2004 .08
Effect of Multiple Radio-Frequency on Sputter Etching & Ashing in Dual Coil ICP Etcher
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .02
ICP Poly etcher의 RF power와 HBr gas의 변화에 따른 output parameters의 변화
한국진공학회 학술발표회초록집
2006 .08
Effect of Multiple Radio-Frequency on Sputter Etching in Dual Coil Inductively Coupled Plasma Etcher
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .08
상부전극에 따른 강유전체 Capacitors의 전기적 특성의 변화에 대한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .02
외부 전극 형광 램프의 전극 형성
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2002 .06
반도체 식각 공정에서 분압 측정 및 활용
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2020 .08
Newly Designed Ion Beam Etcher with High Etch Rate
Journal of Magnetics
2015 .12
Real-time monitoring for anodized aluminum alloy component in etcher using plasma diagnostic
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2014 .08
전극 표면의 거칠기가 펜터신/전극 경계면의 전류-전압 특성에 주는 영향
Applied Science and Convergence Technology
2011 .03
[화학] 시금치 뿌리 조직 바이오센서를 이용한 과산화수소의 정량
분석과학
2000 .06
유연 기판상에 진공 증착된 금속 전극의 기계적 안정성
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .02
Correlation between Coil Configurations and Discharge Characteristics of a Magnetized Inductively Coupled Plasma
Journal of Magnetics
2016 .06
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