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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 2009.11
- 수록면
- 106 - 108 (3page)
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Eenergy distribution function in SiH₄ has been analysed over the E/N range 0.5~300Td and Pressure value 0.5, 1.0, 2.5 Torr by a two-term approximation Boltzmann equation method and by a Monte Carlo simulation.
The motion has been calculated to give swarm parameters for the electron drift velocity, diffusion coefficient, electron ionization, mean energy and the elect ... 전체 초록 보기
The motion has been calculated to give swarm parameters for the electron drift velocity, diffusion coefficient, electron ionization, mean energy and the elect ... 전체 초록 보기
목차
Abstract
1. 서론
2. 해석 방법
3. 전자충돌 단면적
4. 결과 및 고찰
5. 결론
[참고문헌]
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