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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 2007.11
- 수록면
- 155 - 159 (5page)
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This paper calculates and gives the analysis of electron swarm transport coefficients as described electric conductive characteristics of pure Ar, pure SiH₄ Ar-SiH₄ mixture gases (SiH₄--0.5%, 2.5%, 5%) over the range of E/N=0.01~300[Td], P=0.1, 1, 5.0[Torr] by Monte Carlo the Backward prolongation method of the Boltzmann equation using computer simulation without using expensive equipment.
The results have been obtained by using the electron collision cross sections by TOF, PT, SST sampling, compared with the experimental data determined by the other author. It also proved the reliability of the electron collision cross sections and shows the practical values of computer simulation.
The results have been obtained by using the electron collision cross sections by TOF, PT, SST sampling, compared with the experimental data determined by the other author. It also proved the reliability of the electron collision cross sections and shows the practical values of computer simulation.
목차
Abstract
1. 서론
2. MCS-BEq법의 이론
3. 시뮬레이션 방법
4. 전자 충돌 단면적
5. 결과 및 고찰
5. 결론
[참고문헌]
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