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이용수
Abstract
1. 서론
2. 저압수온 방전의 모델링
3. 구성된 방정식의 해
4. 수치해석 결과
5. 결론
참고문헌
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저압 수은 방전에서의 근사화한 충돌 단면적을 사용한 전자 에너지 분포함수 해석
조명·전기설비
1989 .12
고주파 유도결합 플라즈마의 전자에너지 분포함수 특성에 관한 연구
한국조명·전기설비학회 학술대회논문집
1998 .11
MCS-BEq 알고리즘에 의한 SiH₄ 기체의 전자수송특성
대한전기학회 학술대회 논문집
2006 .10
SF6가스의 전자에너지 분포함수에 관한 연구
한국조명·전기설비학회 학술대회논문집
1996 .11
SiH₄ 기체의 전자이동속도와 전자 에너지 분포함수
대한전기학회 학술대회 논문집
2009 .11
시뮬레이션에 의한 SF6-He 혼합기체에서 전자에너지 분포함수
전기학회논문지 P
2014 .03
SF₆가스의 전자에너지 분포함수에 관한 연구
조명·전기설비학회논문지
1999 .05
고(高)에너지 전자선(電子線) 치료(治療)를 위(爲)한 선량분포(線量分布) 및 기술적(技術的) 문제(問題)의 연구(硏究)
방사선방어학회지
1978 .01
SiH₄-Ar혼합기체의 평균 에너지에 관한 연구
전기학회논문지 P
2006 .06
CF₄ 기체에서의 전리와 부착계수
전기학회논문지 P
2011 .03
고주파 유도방전 플라즈마 특성에 관한 연구(Ⅰ)
한국조명·전기설비학회 학술대회논문집
1996 .11
CF₄-Ar혼합기체의 전자수송계수에 관한 연구
전기학회논문지 P
2007 .03
SF₆가스의 전리 및 부착계수에 관한 연구
조명·전기설비
1996 .12
H2 + Ar 혼합기체의 전자수송계수에서의 전자충돌 단면적
대한전기학회 학술대회 논문집
2011 .07
CF₄, CH₄, Ar 혼합기체의 전자 평균에너지
전기학회논문지 P
2015 .12
Initial Electron Collision Cross Sections Set of H₂ Molecular Gas for Plasma Discharge Simulation
대한전기학회 학술대회 논문집
2010 .07
전자군 방법에 의한 C3F8분자가스의 비탄성충돌단면적의 결정
전기전자재료학회논문지
2006 .01
고주파 유도결합 플라즈마의 전자에너지 분포함수 계측에 관한 연구
조명·전기설비학회논문지
1999 .11
전자군 방법에 의한 전자충돌단면적 결정
전기전자재료학회논문지
2003 .01
Initial Electron Collision Cross Sections Set of F₂ Molecular Gas for Plasma Discharge Simulation
대한전기학회 학술대회 논문집
2010 .07
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