SiH₄-Ar혼합기체의 평균 에너지에 관한 연구

金相南

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자료유형: 학술저널

저자정보: 金相南

저널정보: 대한전기학회 전기학회논문지 P 전기학회논문지 제55P권 제2호

발행연도: 2006.6

수록면: 57 - 61 (5page)

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This paper calculates and gives the analysis of mean energy in pure SiH₄, Ar-SiH₄ mixture gases (SiH₄- 0.5 [%], 5[%]) over the range of E/N = 0.01~300[Td], P = 0.1, 1, 5.0 [Torr] by Monte Carlo the Backward prolongation method of the Boltzmann equation using computer simulation without using expensive equipment.
The results have been obtained by using the electron collision cross sections by TOF, PT, SST sampling, compared with the experimental data determined by the other author. It also proved the reliability of the electron collision cross sections and shows the practical values of computer simulation.
The calculations of electron swarm parameters require the knowledge of several collision cross-sections of electron beam. Thus, published momentum transfer, ionization, vibration, attachment, electronic excitation, and dissociation cross-sections of electrons for SiH₄ and Ar, were used. The differences of the transport coefficients of electrons in SiH₄, mixtures of SiH₄ and Ar, have been explained by the deduced energy distribution functions for electrons and the complete collision cross-sections for electrons.
A two-term approximation of the Boltzmann equation analysis and Monte Carlo simulation have been used to study electron transport coefficients.

#MCS(Monte Carlo Simulation) #BEq(Boltzmann equation) #TOF(Time Of Flight Method) PT(Pulse Townsent Method) #SST(Steady State Townsent Method)

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[학술지(정기간행물)] - / 1993 / プラズマと成膜の基礎 : 13 ~ 20

[학술지(정기간행물)] - / 1989. / The Monte Carlo Method for Semiconductor Device Simulation : 1 ~ 4

[학술지(정기간행물)] - / 1988. / Momentum Transfer and Vibrational Cross-sections in Non-polar Gases Trans. Faraday. Soc. 64 : 2919 ~ 26

[학술지(정기간행물)] - / 2000 / SF6－Ar 混合氣體에서의 電離 및 附着係數工學博士學位論文

[학술지(정기간행물)] - / / Electron Transport Parameters in Argon and its momentum transfer cros section J. Phys. 21，pp.718-723，1

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김상남

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