지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
이 논문의 연구 히스토리 (2)
- 이 논문의 후속연구가 궁금하신가요?
- 연관 학술논문 또는 학술발표를 통해 보다 발전된 연구결과를 확인하실 수 있습니다.
- 이 논문의 연구 히스토리 확인하기
초록· 키워드
오류제보하기
This paper describes the electron transport characteristics in SF6-He gas calculated E/N values 0.1～700[Td] by the Monte Carlo simulation and Boltzmann equation method using a set of electron collision cross sections determined by the authors and the values of electron swarm parameters obtained by TOF method. This study gained the values of the electron swarm parameters such as the electron drift velocity, the electron ionization or attachment coefficients, longitudinal and transverse diffusion coefficients for SF6-He gas at a range of E/N. A set of electron collision cross section has been assembled and used in Monte Carlo simulation to predict values of swarm parameters. The result of Boltzmann equation and Monte Carlo Simulation has been compared with experimental data by Ohmori, Lucas and Carter. The swarm parameter from the swarm study are expected to sever as a critical test of current theories of low energy scattering by atoms and molecules.
목차
Abstract
1. 서론
2. 해석방법
3. 전자충돌 단면적
4. 해석결과 및 고찰
5. 결론
참고문헌
참고문헌 (15)
참고문헌 신청
1974 / 氣體放電 シミュレション 技法 / 電氣學會 技術報告 3(140):3~5
H. Itoh / 1960 / Monte Carlo Calculations of Motions in Helium / J. Phys. Soc. Japan 15(9):1675~1680
Y Ohmori / 1986 / Boltzmann equation analysis of electron swarm behavior in Methane :437~455
菅野卓雄 / 1993 / 半導體 プラズマ プロセス技術 / 産業圖書 :38~50
1989 / モンテカルロ法 と シミュレーション / 培風館 :4~20
H. Itoh / 1960 / Monte Carlo Calculations of Motions in Helium / J. Phys. Soc. Japan 15(9):1675~1680
Y Ohmori / 1986 / Boltzmann equation analysis of electron swarm behavior in Methane :437~455
菅野卓雄 / 1993 / 半導體 プラズマ プロセス技術 / 産業圖書 :38~50
1989 / モンテカルロ法 と シミュレーション / 培風館 :4~20
이 논문의 저자 정보
이 논문과 함께 이용한 논문
최근 본 자료
댓글(0)
0
UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2015-500-001290651