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Abstract
1. 서론
2. 해석 방법
3. 전자충돌 단면적
4. 결과 및 고찰
5. 결론
참고문헌
저자소개
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SiH₄+Ar가스의 전자평균에너지 및 전자에너지분포함수 해석
대한전기학회 학술대회 논문집
1999 .07
SiH₄+Ar혼합기체의 전자군 파라미터 해석
대한전기학회 학술대회 논문집
2002 .06
SiH₄ 가스의 에너지 분포함수 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2000 .07
SiH₄ 플라즈마중의 전자수송특성 해석
대한전기학회 학술대회 논문집
1998 .11
Ar/N₂/SiH₄/NH₃ 유도 결합형 플라즈마의 N₂ 함량에 따른 플라즈마 특성 분석
대한전기학회 학술대회 논문집
2016 .07
SiH4/NH3/N2 및 SiH4/NH3/Ar 유량비율이 PECVD SiNx : H 박막의 특성에 미치는 영향 ( Effect of Flow Rate Ratios of SiH4/NH3/N2 and SiH4/NH3/Ar on the Properties of PECVD SiNx : H Films )
전자공학회논문지
1988 .05
SiH₄-Ar혼합기체의 평균에너지
대한전기학회 학술대회 논문집
2007 .11
SiH₄-Ar혼합기체의 평균 에너지에 관한 연구
전기학회논문지 P
2006 .06
SiH₄-N₂ 혼합가스에서 成長된 PECVD a-SiNx : J薄膜의 成長條件과 特性의 相關性
전기학회논문지
1986 .05
MCS-BEq 알고리즘에 의한 SiH₄ 기체의 전자수송특성
대한전기학회 학술대회 논문집
2006 .10
SF₆+Ar 혼합기체의 MCS-BE 알고리즘에 의한 전자에너지 분포함수
대한전기학회 학술대회 논문집
2000 .07
SiH₄ 기체의 전자이동속도와 전자 에너지 분포함수
대한전기학회 학술대회 논문집
2009 .11
SiH4/H2 혼합기체를 multistep 방식으로 증착한 수소화된 실리콘 박막의 특성 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2012 .07
시뮬레이션에 의한 CF₄, CH₄, Ar混合氣體에서 電子에너지분포함수
전기학회논문지 P
2003 .03
SiH₄-H₂계에서 유체유동이 Si의 화학증착에 미치는 영향
한국표면공학회지
1990 .09
TOF법을 이용한 SiH₄ 프라즈마중의 전자군파라미터특성
대한전기학회 학술대회 논문집
1997 .07
MCS-BEq에 의한 SiH4 氣體의 電子分布函數
대한전기학회 학술대회 논문집
2011 .11
지하수 조사에서 환경추적자로서의 $SF_6$의 적용
한국지하수토양환경학회 학술발표회
2003 .01
SiH₄를 이용한 텅스텐의 화학증착시 압력증가가 증착에 미치는 영향
한국표면공학회지
1993 .02
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