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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
김상남 (인천대학교)
저널정보
대한전기학회 전기학회논문지 P 전기학회논문지 제60P권 제3호
발행연도
2011.9
수록면
105 - 109 (5page)

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Drift Velocity of Electrons in pure CH₄, CF₄ and mixtures of CF₄ and Ar. Have been analyzed over a range of the reduced electric field strength between 0.1 and 350[Td] by the two-term approximation of the Boltzmann equation (BEq.) method and the Monte Carlo simulation (MCS). The results of the Boltzmann equation and the Monte Carlo simulation have been compared with the data presented by several workers. The deduced transport coefficients for electrons agree reasonably well with the experimental and simulation data obtained by Nakamura and Hayashi. The energy distribution function of electrons in CF₄-Ar mixtures shows the Maxwellian distribution for energy. That is, f(ε) has the symmetrical shape whose axis of symmetry is a most probably energy. The measured results and the calculated results have been compared each other.

목차

Abstract
1. 서론
2. 해석 방법
3. 전자충돌 단면적
4. 결과 및 고찰
5. 결론
참고문헌
저자소개

참고문헌 (25)

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