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한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전기전자재료학회논문지 제19권 제3호
발행연도
2006.1
수록면
301 - 306 (6page)

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2006

전자군 방법에 의한 C3F8분자가스의 비탄성충돌단면적의 결정
전병훈 전기전자재료학회논문지 2006.01 학술저널

2005

C₃F₈-Ar혼합가스 상에서 C₃F₈분자가스의 비탄성단면적의 재결정
전병훈 대한전기학회 학술대회 논문집 2005.11 학술대회자료

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The electron drift velocity W and the product of the longitudinal diffusion coefficient and the gas number density NDL in the 0.526 % and 5.05 % C3F8-Ar mixtures were measured by using the double shutter drift tube with variable drift distance over the E/N range from 0.03 to 100 Td and gas pressure range from 1 to 915 torr. And we determined the electron collision cross sections set for the C3F8 molecule by STEP 1 of electron swarm method using a multi-term Boltzmann equation analysis. Our special attention in the present study was focused upon the vibrational excitation and new excitations cross sections of the C3F8 molecule.
#C3F8 molecule #Multi-term Boltzmann equation #Electron drift velocity #Electron collision cross section #The product of the longitudinal diffusion coefficient and the gas number density

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/ 1982. / Gases for possible use in diffuse discharge switches 41 (2) : 147 ~ google schola / 1984. / Electron attachment to the perfluoroalkanes n-CNF2N+2 80 (12) : 6150 ~ 6 google schola / 1986. / Velocity distribution function and transport coefficients of electron swarms in gases Spherical harmonics decomposition of Boltzmann's equation 33 : 2068 ~ google schola / 1989. / Ionization and temperature depent attachment cross section measurements in C3F8 and C2H3Cl (5) : 2585 ~ google schola / 1990. / Elastic and inelastic e-C2F6 and e-C3F8 cross sections from swarm data 23 : 2879 ~ google schola

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