LPCVD로 증착된 WSi<SUB>x</SUB>/poly-Si막 두께변화에 의한 W-polycide특성

金泰亨; 金昌日; 張宜久

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자료유형: 학술저널

저자정보: 金泰亨金昌日張宜久

저널정보: 대한전기학회 전기학회논문지 電氣學會論文誌第41卷第10號

발행연도: 1992.10

수록면: 1,172 - 1,179 (8page)

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