DC마그네트론 스퍼터링법으로 PET 기판위에 저온 증착한 ITO박막의 비저항과 굽힘 저항성에 대한 RF인가의 영향

박미랑 ,  이성훈 ,  김도근 외 2명

한국표면공학회지

2008 .10

DC 마그네트론 스퍼터링법으로 증착한 ITO/PET 초박막의 제작 및 물성 평가

박소윤 ,  송풍근

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2014 .05

RF/DC 동시인가 마그네트론 스퍼터링 방법으로 증착된 ITO 박막의 열처리 특성 연구

문진욱 ,  김동원

한국표면공학회지

2007 .06

RF magnetron sputter에 의한 PET기판상 ITO/AI/ITO 박막의 증착 압력이 광학적 전기적 특성에 미치는 영향

서정은 ,  김상호 ,  이인선 외 1명

한국표면공학회지

2005 .04

RF 마그네트론 스퍼터링법으로 제작된 ITO 박막의 공정압력 변화에 따른 특성

정성진 ,  김덕규 ,  김홍배

반도체디스플레이기술학회지

2010 .01

RF 마그네트론 스퍼터링에 의한 유기 EL용 ITO 박막의 증착

김규현 ,  최균 ,  최의석 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2002 .01

RF/DC 중첩형 마그네트론 스퍼터링법을 이용하여 증착한 ZIO 박막의 특성

박지봉 ,  박세훈 ,  송풍근

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2009 .05

RF 마그네트론 스퍼터의 자기장 분포 변화에 의한 ITO 박막의 전기적 특성에 관한 연구

김현수 ,  김일영 ,  민상홍 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

2012 .05

PET 기판상에 증착된 ITO박막의 산소영향

김현후 ,  박철현 ,  임기조 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

1999 .07

ITO/PET 박막의 물성에 영향을 미치는 스퍼터링 전압 - 전류 영향

박소윤 ,  송풍근

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2015 .05

Off-axis RF 마그네트론 스퍼터링법을 이용하여 저온에서 결정화된 ITO 박막의 특성

최형진 ,  윤순길 ,  정현준 외 1명

전기전자재료학회논문지

2011 .01

반응성 마그네트론 프로세스에 의한 ITO박막 형성에 관한 연구

郭永淳 ,  曺井守 ,  朴正后 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

1992 .07

고주파 마그네트론 스퍼터링 방법으로 제작한 ITO 박막의 표면형태 및 전기적 특성

권성열

센서학회지

2006 .01

DC 마그네트론 스퍼터링법으로 증착한 IZO 및 ITO 박막의 열전 특성

변자영 ,  김주은 ,  유기태 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2016 .05

DC 마그네트론 스파터링법에 의한 ITO 박막재의 전기적 기계적 특성

김도형 ,  이영주 ,  윤한기 외 3명

대한기계학회 춘추학술대회

2006 .03

DC 마그네트론 스퍼터링에 의해 증착된 알루미늄 박막의 특성 ( The Characteristics of Aluminum Thin Films Deposited by DC Magnetron Sputtering )

정귀상 ,  노상수

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

DC 마그네트론 스퍼터링에 의해 증착된 알루미늄 박막의 특성 ( The Characteristics of Aluminum Thin Films Deposited by DC Magnetron Sputtering )

김춘곤 ,  정귀상

대한전자공학회 학술대회

1995 .01

반응성 dc 마그네트론 스퍼터링법으로 제조된 ITO박막에 미치는 산소분압의 영향

신성호 ,  신재혁 ,  박광자 외 1명

한국표면공학회지

1998 .06

PET 기판 위에 증착된 ITO 투명전도막의 전기적·광학적 특성

송우창

전기전자재료학회논문지

2004 .01

PET기판상 ITO/Al/ITO 박막의 증착 압력이 광학적 전기적 특성에 미치는 영향

서정은 ,  김소라 ,  김상호

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2004 .11