지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2011.11
- 수록면
- 4,711 - 4,717 (7page)
이용수
초록· 키워드
오류제보하기
PVD방식에 의한 TiN박막의 형성은 DC와 RF sputtering deposition 방식을 적용할 수 있지만, 플라즈마 생 성을 위해 주입된 가스의 이온화율이 떨어져 박막성형 속도가 느려지며, 박막과의 접착력을 높이는 것에도 한계성을 가지고 있다. 이를 개선하기 위해 증착과 동시에 이온빔을 조사하는 이온빔 진공증착 IBAD(Ion beam assisted deposition)를 이용 하게 되면, 코팅 전에 소재 표면을 Ion beam으로 조사하기 때문에 표면cleaning의 효과가 크고, 접착력이 높은 박막을 얻을 수 있다. 또한 고 진공과 낮은 온도에서도 균일한 두께의 고순도의 박막을 얻을 수 있는 이점이 있다.
목차
등록된 정보가 없습니다.
참고문헌 (9)
참고문헌 신청
1. [학술지(정기간행물)] - S. Mändl / 1998 / / Surface and Coatings Technology 100 : 372 ~ 376
2. [학술지(정기간행물)] - B. Larisch / / 116 : 205 ~ 211
3. [학술지(정기간행물)] - S. J. Bull / 1996 / / Surface and Coatings Technology 83 : 257 ~ 262
4. [학술지(정기간행물)] - E. Menthe / 2000 / / Surface and Coatings Technology 133 : 259 ~ 263
5. [학술지(정기간행물)] - V. Singh / 2002 / / Surface and Coatings Technology 160 : 249 ~ 258
2. [학술지(정기간행물)] - B. Larisch / / 116 : 205 ~ 211
3. [학술지(정기간행물)] - S. J. Bull / 1996 / / Surface and Coatings Technology 83 : 257 ~ 262
4. [학술지(정기간행물)] - E. Menthe / 2000 / / Surface and Coatings Technology 133 : 259 ~ 263
5. [학술지(정기간행물)] - V. Singh / 2002 / / Surface and Coatings Technology 160 : 249 ~ 258
이 논문의 저자 정보
이 논문과 함께 이용한 논문
스퍼터 ITO박막의 제조 공정 이해 및 활용
송풍근
한국표면공학회지
2017
.04
주철 소재의 전자빔 표면열처리 특성
강은구
,
최헌종
,
민병권
외 1명
대한기계학회 춘추학술대회
2016
.05
N₂ 분위기에서 RF magnetron sputtering 방법으로 증착된 TiN박막의 열처리 온도에 따른 내마모 특성 및 표면구조특성 분석
장부성
,
이창현
,
박창환
외 1명
한국진공학회 학술발표회초록집
2016
.02
음극 아크 플라즈마 공정으로 증착된 AlTiN 코팅막의 특성
김성환
,
양지훈
,
송민아
외 2명
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2015
.05
DC sputter방식으로 제조된 Cu2Se 박막의 전자빔 처리에 따른 특성 연구
권혁
,
김재웅
,
정승철
외 3명
한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집
2011
.11
최근 본 자료
댓글(0)
0
UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2018-505-001155358