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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
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저널정보
한국표면공학회 한국표면공학회지 한국표면공학회지 제38권 제2호
발행연도
2005.4
수록면
69 - 72 (4page)

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이 논문의 연구 히스토리 (3)

2005

ITO/AI/ITO 다층 박막의 광학적 전기적 특성
서정은 ,  안진형 ,  엄준선 외 1명 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2005.05 학술대회자료
RF magnetron sputter에 의한 PET기판상 ITO/AI/ITO 박막의 증착 압력이 광학적 전기적 특성에 미치는 영향
서정은 ,  김상호 ,  이인선 외 1명 한국표면공학회지 2005.04 학술저널

2004

PET기판상 ITO/Al/ITO 박막의 증착 압력이 광학적 전기적 특성에 미치는 영향
서정은 ,  김소라 ,  김상호 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2004.11 학술대회자료

초록· 키워드

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ITO-AI-ITO multi-layers were deposited at room temperature by RF magnetron sputtering on polyethlene terephthalate (PET). The films were deposited at various pressures of 8×10?⁴, 1×10?³, 4×10?³, 8×10?? and 1×10?² Torr. A correlation between microstructure and electro-optical properties was studied. Films deposited? at low pressure have higher transmission, and lower reflectance and resistance than film deposited at high pressure. Sheet resistance, transmission, and reflectance were 141.6 Ω/□ 88% and 6.8% resectively when the deposition pressure was 8×10?⁴ torr, that was the optimum condition.
#ITO #AI #PET #RF magnetron sputtering #Optical transmission #Sheet resistance

목차

Abstract
1. 서론
2. 실험방법
3. 결과
4. 결론
후기
참고문헌

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