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이용수
Abstract
1. 서론
2. 실험 장치 및 방법
3. 실험 결과 및 고찰
4. 결론
5. 참고 문헌
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반응성 dc 마그네트론 스퍼터링법으로 제조된 ITO박막에 미치는 산소분압의 영향
한국표면공학회지
1998 .06
고주파 마그네트론 스퍼터링 방법으로 제작한 ITO 박막의 표면형태 및 전기적 특성
센서학회지
2006 .01
DC 마그네트론 스파터링법에 의한 ITO 박막재의 전기적 기계적 특성
대한기계학회 춘추학술대회
2006 .03
Reactive Sputtering 공법을 이용하여 제작된 ITO/Ag/ITO 다층박막의 전기적, 광학적 특성 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2016 .05
Off-axis RF 마그네트론 스퍼터링법을 이용하여 저온에서 결정화된 ITO 박막의 특성
전기전자재료학회논문지
2011 .01
DC 마그네트론 스퍼터링법으로 증착한 ITO/PET 초박막의 제작 및 물성 평가
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2014 .05
마그네트론 스퍼터링법에 의해 증착된 ITO:Yb 및 ITO:Sm 박막의 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2009 .05
스퍼터링에 의한 ITO 박막의 저온 증착 및 특성
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2009 .05
일곤+수소 혼합가스 분위기에서 r.f. 마그네트론 스퍼터링 방식으로 제작된 ITO 박막의 특성
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2005 .11
반응성 DC 마그네트론 스퍼터링법으로 증착한 ITO 박막의 전기적 특성 평가
한국표면공학회지
2014 .12
D.C. 마그네트론 스퍼터링법으로 제조한 ITO 및 ITO/Ag/ITO 박막의 미세조직과 투명 전극 특성
한국재료학회지
2006 .01
RF 마그네트론 스퍼터의 자기장 분포 변화에 의한 ITO 박막의 전기적 특성에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2012 .05
DC 마그네트론 스퍼터링법으로 제작한 비정질 ITO:X 박막의 불순물 X 함량과 후열처리 온도에 따른 물성평가
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2013 .05
Properties of Ag/ITO film deposited using the DC magnetron sputtering
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2013 .11
반응성 DC 스퍼터링 법에 의한 투명 Plastic 상의 ITO 박막제조
한국표면공학회 학술발표회 초록집
1998 .05
RF/DC 동시인가 마그네트론 스퍼터링 방법으로 증착된 ITO 박막의 열처리 특성 연구
한국표면공학회지
2007 .06
산소분압에 따른 DC sputter 코팅된 ITO 박막의 특성에 관한 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2001 .06
내장형 및 외장형 마그네트론을 사용하여 증착한 ITO박막의 물성
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2007 .04
DC magnetron sputtering 방법으로 형성한 Indium-Tin-Oxide(ITO) 박막의 특성 연구
한국정보통신학회논문지
2006 .03
분위기 가스에 따른 ITO 박막의 전기적 및 구조적 특성
반도체및디스플레이장비학회지
2008 .01
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