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스퍼터링에 의한 ITO 박막의 저온 증착 및 특성
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2009 .05
RF 마그네트론 스퍼터링법으로 제작된 ITO 박막의 공정압력 변화에 따른 특성
반도체디스플레이기술학회지
2010 .01
RF 마그네트론 스퍼터의 자기장 분포 변화에 의한 ITO 박막의 전기적 특성에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2012 .05
고주파 마그네트론 스퍼터링 방법으로 제작한 ITO 박막의 표면형태 및 전기적 특성
센서학회지
2006 .01
RF 부가형 DC 마그네트론 스퍼터링에 의해 PET 기판에 증착한 ITO 박막의 전기적 및 기계적 특성
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2009 .05
RF 마그네트론 스퍼터링을 이용한 ITO 기판에 불순물 증착에 관한 연구
전기학회논문지 P
2015 .12
Off-axis RF 마그네트론 스퍼터링법을 이용하여 저온에서 결정화된 ITO 박막의 특성
전기전자재료학회논문지
2011 .01
RF 스퍼터링 공정을 이용한 플라스틱 상의 ITO 박막의 결정성과 전도성 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2005 .05
반응성 마그네트론 프로세스에 의한 ITO박막 형성에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
1992 .07
마그네트론 스퍼터링법에 의해 증착된 ITO:Yb 및 ITO:Sm 박막의 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2009 .05
DC마그네트론 스퍼터링법으로 PET 기판위에 저온 증착한 ITO박막의 비저항과 굽힘 저항성에 대한 RF인가의 영향
한국표면공학회지
2008 .10
유기 EL용 ITO 표면 연마장비의 운전변수와 균일도의 상관관계에 대한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2004 .05
기판 부근의 자기장이 RF 스퍼터링법으로 증착된 ITO 박막의 특성에 미치는 영향
전기전자재료학회논문지
2012 .01
RF magnetron sputtering에 의해 제조된 ITO 박막의 특성 및 열처리에 의한 특성 변화
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
2008 .04
RF마그네트론 스퍼터 증착장치 개발연구(Ⅰ)
대한전기학회 학술대회 논문집
1993 .07
일곤+수소 혼합가스 분위기에서 r.f. 마그네트론 스퍼터링 방식으로 제작된 ITO 박막의 특성
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2005 .11
RF/DC 동시인가 마그네트론 스퍼터링 방법으로 증착된 ITO 박막의 열처리 특성 연구
한국표면공학회지
2007 .06
RF magnetron sputter에 의한 PET기판상 ITO/AI/ITO 박막의 증착 압력이 광학적 전기적 특성에 미치는 영향
한국표면공학회지
2005 .04
DC 마그네트론 스퍼터링법으로 증착한 ITO/PET 초박막의 제작 및 물성 평가
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2014 .05
RF 마그네트론 스퍼터링법으로 증착한 전기변색 박막의 물성평가
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2015 .05
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