RF/DC 중첩형 마그네트론 스퍼터링법을 이용하여 증착한 ZIO 박막의 특성

박지봉; 박세훈; 송풍근

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 박지봉 박세훈 송풍근

저널정보: 한국표면공학회 한국표면공학회 학술발표회 초록집 한국표면공학회 2009년도 춘계학술대회 및 에너지.공학 신표면처리기술 국제 워크숍

발행연도: 2009.5

수록면: 188 - 188 (1page)

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2010

전자기장 부가형 DC 반응성 마그네트론 스퍼터링 시스템을 이용하여 증착한 TiN_x 박막의 특성 평가

박지봉 , 김정혁 , 김영신 외 1명 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2010.11 학술대회자료

2009

RF/DC 중첩형 마그네트론 스퍼터링법을 이용하여 증착한 ZIO 박막의 특성

박지봉 , 박세훈 , 송풍근 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2009.05 학술대회자료

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소속기관 부산대학교

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논문수 6 이용수 570

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TiN증착 조건에 따른 박막의 특성에 대한 실험적 연구

박일수 한국산학기술학회 논문지 2011 .11

스퍼터 ITO박막의 제조 공정 이해 및 활용

송풍근 한국표면공학회지 2017 .04

주철 소재의 전자빔 표면열처리 특성

강은구 , 최헌종 , 민병권 외 1명 대한기계학회 춘추학술대회 2016 .05

N₂ 분위기에서 RF magnetron sputtering 방법으로 증착된 TiN박막의 열처리 온도에 따른 내마모 특성 및 표면구조특성 분석

장부성 , 이창현 , 박창환 외 1명 한국진공학회 학술발표회초록집 2016 .02

DC sputter방식으로 제조된 Cu₂Se 박막의 전자빔 처리에 따른 특성 연구

권혁 , 김재웅 , 정승철 외 3명 한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집 2011 .11

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