The Dry Etching Properties of TaN Thin Film Using Inductively Coupled Plasma

우종창 ,  김창일 ,  Young-Hee Joo

Transactions on Electrical and Electronic Materials

2012 .01

유도 결합 플라즈마를 이용한 TaN 박막의 건식 식각 특성

진려 ,  주영희 ,  우종창 외 3명

전기전자재료학회논문지

2013 .01

유도 결합 플라즈마를 이용한 TaN 박막의 건식 식각 특성 연구

엄두승 ,  김승한 ,  우종창 외 1명

한국표면공학회지

2009 .12

Optimized Process Analysis of SiO₂ etch using CFD Simulation

Han-Bit Kim ,  Tae-Ho shin ,  Byeong-Gwan ji 외 7명

대한전자공학회 학술대회

2017 .01

ICP 식각 시스템에 의한 초전도 스트립 라인의 임계 특성 분석

고석철 ,  한병성 ,  최효상 외 2명

전기전자재료학회논문지

2004 .01

The Use of Inductively Coupled CF4/Ar Plasma to Improve the Etch Rate of ZrO2 Thin Films

김한수 ,  김창일 ,  우종창 외 1명

Transactions on Electrical and Electronic Materials

2013 .01

Dry Etching Properties of TiO2 Thin Film Using Inductively Coupled Plasma for Resistive Random Access Memory Application

주영희 ,  김창일 ,  우종창

Transactions on Electrical and Electronic Materials

2012 .01

E-ICP에 의한 산화막 식각특성

조수범 ,  송호영 ,  박세근 외 1명

대한전자공학회 학술대회

2000 .06

BCl3/Ar 유도결합 플라즈마 안에 CH4 가스 첨가에 따른 건식 식각된 TaN 박막 표면의 연구

우종창 ,  최창억 ,  양우석 외 4명

전기전자재료학회논문지

2013 .01

Enhanced-Inductively Coupled Plasma (E-ICP)를 이용한 Silylated photoresist 식각공정개발

박세근 ,  이종근 ,  조수범 외 3명

전기전자재료학회논문지

2002 .01

XPS Analysis of Oxide Etch Polymer in Inductively Coupled High Density Plasmas

Pa ,  k ,  Jae-Hyun 외 6명

Fabrication and Characterization of Advanced Materials

1995 .01

범용성 유도결합 플라즈마 식각장비를 이용한 깊은 실리콘 식각

오범환 ,  박세근 ,  조수범

전기전자재료학회논문지

2004 .01

CH₄ 플라즈마에 따른 TiN 박막 표면의 식각특성 연구

우종창 ,  엄두승 ,  김관하 외 2명

한국표면공학회지

2008 .10

Platinum Etching in an Inductively Coupled Cl2 Plasma

C. S. Yoon ,  T. S. Kim ,  J. G. Lee 외 8명

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

The Dry Etching Properties on TiN Thin Film Using an N_2/BCl_3/Ar Inductively Coupled Plasma

Jong-Chang Woo ,  주영희 ,  Jung-Soo Pa 외 2명

Transactions on Electrical and Electronic Materials

2011 .01

Antenna structure를 이용한 MIS(TaN/HfO₂/Si) capacitor의 plasma damage 연구

양승국 ,  이승용 ,  유한석 외 4명

대한전자공학회 학술대회

2006 .06

Etch Properties of HfO2 Thin Films using CH4/Ar Inductively Coupled Plasma

우종창 ,  Gwan-Ha Kim ,  Dong-Pyo Kim 외 1명

Transactions on Electrical and Electronic Materials

2007 .01

ICP 스퍼터링으로 제조한 초경 TaN 박막에 관한 연구

이기락 ,  김훈 ,  최효석 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2005 .11

Characteristics of Ag Etching using Inductively Coupled Halogen-based Plasmas

Pa ,  k ,  Sang-Duk 외 10명

한국정보디스플레이학회 International Meeting

2002 .01

Inductively coupled plasma reactive ion etching of ZnO using $C_2F_6$ and $BCl_3-based$ gas Plasmas

강동진 ,  이건교 ,  이병택

한국재료학회 학술발표대회

2006 .01