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이용수
Abstract
1. 서론
2. 이상적 원자층성장법
3. 원자층성장법에의 현황
5. 결론
참고문헌
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2000 .03
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1997 .01
청색발광소자 개발을 위한 Hydride Vapor Phase Epitaxy를 이용한 GaN의 성장특성 연구 ( Study on the Growth Characteristics of Thick GaN Using Hydride Vapor Phase Epitaxy for the Development of Blue Emitting Diode )
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