Silicon Epitaxy

송성해

대한전자공학회 단기강좌

1983 .01

HIGH QUALITY SELECTIVE EPITAXY GROWTH OF SILICON FOR DEVICE ISOLATION

H. G. Chun ,  H. S. Yang ,  S. K. Lee 외 4명

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1989 .01

Silicon Epitaxy에서 일어나는 Pattern Shift에 대한 연구 ( Pattern Shift in Silicon Epitaxy )

백문철 ,  조경익 ,  송성해

대한전자공학회 학술대회

1983 .01

Strained Growth Behavior in Selective Silicon Epitaxy

이정호 ,  이길호 ,  여인석 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

Silicon / Materials , Epitaxy / CVD

민석기

대한전자공학회 단기강좌

1982 .01

Silicon Epitaxy에서의 Dopant Incorporation

조경익 ,  이승한 ,  백문철 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1983 .11

Selective epitaxy를 위한 다결정 및 단결정 실리콘의 성장과 예칭에 관한 연구

김창수 ,  정호선 ,  조경익 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1983 .11

고상 에피택시에 의한 초박막 $CoSi_2$ 형성과 $Si/epi-CoSi_2/Si$(111)의 이중헤테로 에피택셜 성장

최치규 ,  강민성 ,  문종 외 3명

한국재료학회지

1998 .01

Epitaxy behavior of various inorganics on the surface of graphene and its application for recyclable epitaxy substrate of CVD

김대우 ,  김선준 ,  최형욱 외 1명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2014 .04

Selective Formation of InAs Quantum Dot Structure by Molecular Beam Epitaxy

한철구 ,  장영준 ,  오치성 외 5명

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

CVD epitaxy 에서의 pattern shift의 분석

백문철 ,  이승한 ,  조경익 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1983 .11

분자선 ( Epitaxy )

강태원

전자공학회지

1987 .02

소자분리를 위한 선택적 실리콘 에피택시 ( Selective Si Epitaxy for Device Isolation )

양전욱 ,  조경익 ,  박신종

전자공학회논문지

1986 .11

Pt/HfSi_xO_y/Silicon 구조의 전기적 특성에 관한 연구

박전웅 ,  염민수 ,  심현상 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

2002 .11

승온중 수소 분위기 제어에 의한 선택적 Si 에피텍시 성장

손용훈 ,  박성계 ,  김상훈 외 2명

한국재료학회지

2002 .01

MOVPE 단결정층 성장법 : Ⅲ. 원자층 성장법

정원국

한국표면공학회지

1990 .12

Molecular Beam Epitaxy를 이용한 GaAs Layer의 성장과 특성분석 ( Growth and Characterization of GaAs Layer by Molecular Beam Epitaxy )

이승웅 ,  조훈영 ,  김은규 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1992 .07

Molecular Beam Epitaxy를 이용한 GaAs layer의 성장과 특성분석

이승웅 ,  조훈영 ,  김은규 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1992 .06

Atomic Layer Epitaxy 법에 의한 TiN 박막의 성장과 그 특성

이종화 ,  김동진 ,  이명복 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1998 .11

Atomic Layer Epitaxy 법에 의한 TiN 박막의 성장과 그 특성 ( Growth and Characteristics of TiN Thin Films by Atomic Layer Epitaxy )

이종화 ,  김동진 ,  이명복 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1998 .11