Atomic Layer Epitaxy 법에 의한 TiN 박막의 성장과 그 특성 ( Growth and Characteristics of TiN Thin Films by Atomic Layer Epitaxy )

이종화 ,  김동진 ,  이명복 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1998 .11

ALE 법에 의한 TiN 박막의 증착 및 특성 ( Deposition and Characteristics of TiN Thin Films by Atomic Layer Epitaxy )

김동진 ,  정영배 ,  이명복 외 4명

전자공학회논문지-SD

2000 .06

Atomic Layer Epitaxy를 이용한 Al2O3 유전 박막의 성장과 박막 특성의 연구

윤선진 ,  강정숙 ,  남상두 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

원자층 증착법으로 형성한 TiN 박막의 특성 연구

이준우 ,  전형탁

한국재료학회 학술발표대회

1999 .01

Atomic Layer Epitaxy 방법으로 $Al(CH_3)_3$을 사용하여 성장한 $Al_2O_3$ 박막의 특성연구

윤선진 ,  김혜림 ,  이중환 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1996 .01

MOVPE 단결정층 성장법 : Ⅲ. 원자층 성장법

정원국

한국표면공학회지

1990 .12

Atomic Layer Epitaxy ( ALE ) 방법으로 제작된 ZnS : Mn 박막전계발광소자의 전기 , 광학적 특성 ( Electrical and Optical Characteristics of ZnS : Mn Thin-film Electroluminescent ( TFEL ) Devices grown by Atomic Layer Epitaxy )

이순석 ,  윤선진 ,  임성규

전자공학회논문지-D

1998 .02

유기소스 원자층 증착법으로 증착된 TiN 박막의 특성 연구

박진용 ,  김주연 ,  서상원 외 4명

한국재료학회 학술발표대회

2002 .01

The Fabrication of Tin Oxide Films by Atomic Layer Deposition using Tetrakis(Ethylmethylamino) Tin Precursor

최운섭

Transactions on Electrical and Electronic Materials

2009 .01

Effects of Seed Layer and Thermal Treatment on Atomic Layer Deposition-Grown Tin Oxide

최운섭

Transactions on Electrical and Electronic Materials

2010 .01

Molecular Beam Epitaxy를 이용한 GaAs Layer의 성장과 특성분석 ( Growth and Characterization of GaAs Layer by Molecular Beam Epitaxy )

이승웅 ,  조훈영 ,  김은규 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1992 .07

Molecular Beam Epitaxy를 이용한 GaAs layer의 성장과 특성분석

이승웅 ,  조훈영 ,  김은규 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1992 .06

Ti/TiN/Ti buffer layer/TiN 구조를 갖는 TiN 박막의 충격마모특성에 관한 연구

김광석 ,  김범석 ,  이상율

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2001 .11

Silicon Epitaxy

송성해

대한전자공학회 단기강좌

1983 .01

고상 에피택시에 의한 초박막 $CoSi_2$ 형성과 $Si/epi-CoSi_2/Si$(111)의 이중헤테로 에피택셜 성장

최치규 ,  강민성 ,  문종 외 3명

한국재료학회지

1998 .01

TiN 에 대한 W의 부착특성에 관한 연구(l)

이종무 ,  권난영 ,  손재현 외 1명

한국재료학회지

1993 .01

Role of a PVA layer During lithography of SnS₂ thin Films Grown by Atomic layer Deposition

Ham ,  Giyul ,  Shin 외 7명

반도체디스플레이기술학회지

2018 .01

이온빔보조증착에 의한 TiN 박막의 특성

정재인 ,  박형국 ,  문종호 외 3명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

1998 .05

Selective Silicon Epitaxy에 대한 연구 ( Study on the Selective Silicon Epitaxy )

조경익 ,  송성해

대한전자공학회 학술대회

1984 .01