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Abstract
1. 서론
2. 기본공정 및 장치
3. MOVPE 반응
4. MOVPE 반응의 특징
5. 결정성장 조건의 선택
6. MOVPE 성장법의 현황
참고문헌
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MOVPE 단결정층 성장법 Ⅳ. MOVPE 및 ALE 반응경로
한국표면공학회지
1991 .03
MOVPE 단결정층 성장법 : Ⅲ. 원자층 성장법
한국표면공학회지
1990 .12
선택적 MOVPE 성장을 이용한 레이저 다이오드의 제작 ( Fabrication of 1.55 ㎛ InGaAsP/InP Laser Diode by Selective MOVPE )
대한전자공학회 학술대회
1998 .01
선택적 MOVPE 성장을 이용한 레이저 다이오드의 제작 ( Fabrication of 1.55 ㎛ InGaAsP / Inp Laser Diode by Selective MOVPE )
한국통신학회 광전자공학 학술회의
1998 .01
MOVPE를 이용한 980㎚ 양자우물구조 고출력 레이저 제작
대한전자공학회 학술대회
1996 .11
MOVPE법으로 GaN위에 성장시킨 A1InN 박막의 광학적 특성
한국재료학회지
2002 .01
MOVPE를 이용한 980nm 양자우물구조 고출력 레이저 제작 ( Fabrications of 98nm High Power Quantum Well LAser Diodes Using Metal Organic VApor Phase Epitaxy )
대한전자공학회 학술대회
1996 .11
고주파여기 MOVPE법으로 성장한 사파이어 기판위의 InN단 결정의 특성
한국재료학회 학술발표대회
1996 .01
V-Groove가 형성된 High Miller Index GaAs 기판 위의 MOVPE 에피 성장 연구
한국재료학회 학술발표대회
1994 .01
균일한 조성 . 두께를 갖는 Hg0.8 Cd0.2 Te 박막결정의 MOVPE 성장
대한전자공학회 학술대회
1995 .01
V-Groove가 형성된 High Miller Index의 GaAs 기판 위에 MOVPE 에피 성장시 나타나는 Facet 연구
한국재료학회 학술발표대회
1993 .01
III-V족 화합물 반도체 이질접합구조 성장을 위한 MOVPE와 MO-ALE
대한전자공학회 워크샵
1990 .01
MOVPE GROWTH OF HgCdTe EPILAYER WITH ARSENIC DOPING
한국표면공학회지
1996 .10
MOVPE 단결정충 성장법 : Ⅰ. 화합물 반도체 재료, 전자소자및 단결정충 성장법
한국표면공학회지
1990 .03
( 100 ) GaAs 기판의 방위 이탈각이 MOVPE 방법으로 성장된 HgCdTe 박막의 특성에 미치는 영향
대한전자공학회 학술대회
1994 .01
적색 반도체 레이저를 위한 GaInP / AlGaInP Heterostructure의 MOVPE성장 ( MOVPE Growth of GaInP / AlGaInP Heterostructure for Red Diode Laser )
한국통신학회 광전자공학 학술회의
1993 .01
1.3μm Spot-Size Converter Integrated Laser Diodes Simply Fabricated by Narrow-Stripe Selective MOVPE
OPTOELECTRONICS & COMMUNICATIONS CONFERENCE
1997 .01
적색 반도체 레이저를 위한 GaInP / AlGaInP Heterostructure의 MOVPE성장 ( MOVPE Growth of GaInP / AlGaInP Heterostructure ofr Red Diode Laser )
대한전자공학회 학술대회
1993 .01
Homoepitaxial Growth of Gan / InGaN Epitaxial Thin Films by Plasma-Assisted Molecular Beam Epitaxy on MOVPE-Grown GaN
대한전자공학회 학술대회
1998 .01
Low-Loss Coupling fiber-Chip and High Temperature Operation of InAsP / InGaP Narrow Beam Laser Fabricated by Selective Ap-MOVPE
OPTOELECTRONICS & COMMUNICATIONS CONFERENCE
1997 .01
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