III-V족 화합물 반도체 이질접합구조 성장을 위한 MOVPE와 MO-ALE

정원국

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 정원국

저널정보: 대한전자공학회 대한전자공학회 워크샵 대한전자공학회 워크샵(Advanced and Future Microelectronics Workshop - Nanoscale and Ultrafast Devices)

발행연도: 1990.1

수록면: 243 - 266 (24page)

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1990

MOVPE 단결정충 성장법 : Ⅰ. 화합물 반도체 재료, 전자소자및 단결정충 성장법

정원국 한국표면공학회지 1990.03 학술저널

III-V족 화합물 반도체 이질접합구조 성장을 위한 MOVPE와 MO-ALE

정원국 대한전자공학회 워크샵 1990.01 학술대회자료

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