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한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제20회 학술발표회초록집
발행연도
2001.2
수록면
179 - 179 (1page)

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2001

증착조건 및 열처리조건에 따른 HfO₂ 게이트 유전막의 특성
유정호 ,  남석우 ,  남서은 외 2명 한국진공학회 학술발표회초록집 2001.07 학술대회자료
증착방법에 따른 HfO₂ 게이트 유전막의 특성
유정호 ,  남석우 ,  김민주 외 3명 한국진공학회 학술발표회초록집 2001.02 학술대회자료

2000

증착조건 및 열처리조건에 따른 ZrO₂ 박막의 미세구조와 전기적 특성에 관한 연구
유정호 ,  남석우 ,  고대홍 외 2명 Applied Science and Convergence Technology 2000.12 학술저널
증착조건에 따른 ZrO₂ 게이트 유전막의 특성
유정호 ,  남석우 ,  고대홍 한국진공학회 학술발표회초록집 2000.02 학술대회자료

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유정호 ,  남석우 ,  남서은 외 2명 한국진공학회 학술발표회초록집 2001 .07
Si 웨이퍼 기반 RF회로 응용을 위한 HfO2 MIM 케패시터의 전기적 특성분석
박정일 ,  정석원 Proceedings of KIIT Conference 2008 .05

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