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WSi₂ 나노입자를 이용한 나노 부유게이트 커패시터의 전기적 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .08
WSi₂ 나노부유게이트 메모리소자의 온도의존성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .02
TiSi₂ 나노입자를 이용한 나노 부유게이트 커패시터 제작 및 전기적 특성연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .08
다층 구조 Silicon Carbide 나노 입자를 사용한 나노 부유 게이트 커패시터의 형성 방법과 전기적 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2007 .08
이중 컨트롤 층을 가지는 산화 인듐 나노 입자를 이용한 나노 부유 게이트 커패시터의 전기적 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2007 .08
터널 절연막 구조에 따른 SiC 나노입자 나노부유커패시터의 전기적 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .02
Electrical Characteristics of Multi-Layered Al₂O₃/HfO₂/Al₂O₃ Gate Dielectric Films
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .08
증착방법에 따른 HfO₂ 게이트 유전막의 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2001 .02
TBE (Tunnel Barrier Engineered) 절연막이 WSi₂ 나노 부유 게이트 메모리소자 특성에 미치는 영향
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .08
Si₃N₄/HfAlO 터널 절연막을 이용한 나노 부유 커패시터의 전기적 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .02
MOSFET 구조내 HfO₂게이트절연막의 Nanoindentation을 통한 Nano-scale의 기계적 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .02
게이트 전극 형성 적용을 위한 TiN / HfO₂ 구조의 계면 형성과 전기적 특성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2002 .02
SiO₂/Si₃N₄/SiO₂ 터널장벽을 갖는 WSi2 나노입자 메모리소자의 전하누설 근원분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .08
단일층으로 형성된 TiSi2 나노입자를 이용한 나노부유게이트 메모리 소자의 전기적 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .02
Investigation of HfO₂-Al₂O₃laminate and Hf - Al- O films with poly - Si Gates
한국진공학회 학술발표회초록집
2003 .02
게이트 유전체용 HfO₂박막의 증착 및 열처리 조건에 따른 Nano-Mechanical 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .08
Investigation of band alignments of HfO₂ and Al₂O₃ thin films using XPS
한국진공학회 학술발표회초록집
2004 .08
증착조건 및 열처리조건에 따른 HfO₂ 게이트 유전막의 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2001 .07
Analysis on interface trap density of MOS capacitor with Al-doped HfO₂ insulation layer
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .02
HfO₂와 AlO₃를 이용한 터널링 절연막의 전기적 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .08
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