지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 2008.2
- 수록면
- 335 - 335 (1page)
이용수
이 논문의 연구 히스토리 (2)
- 이 논문의 후속연구가 궁금하신가요?
- 연관 학술논문 또는 학술발표를 통해 보다 발전된 연구결과를 확인하실 수 있습니다.
- 이 논문의 연구 히스토리 확인하기
초록· 키워드
오류제보하기
등록된 정보가 없습니다.
목차
등록된 정보가 없습니다.
참고문헌 (0)
참고문헌 신청함께 읽어보면 좋을 논문
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
-
MOCVD법에 의한 Ruthenium 박막의 증착 및 특성분석
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .07
-
고압의 H₂ 가스 열처리에 따른 원자층 증착 HfO₂ 박막의 특성 연구
한국자기학회지
2005 .10
-
Cobalt 박막의 선택적 증착을 위한 MOCVD공정 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .08
-
증착방법에 따른 HfO₂ 게이트 유전막의 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2001 .02
-
ZnO 박막의 차세대 저항 메모리 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .02
-
Preparation of HfO₂ thin films by MOCVD using the novel single precursor, Hf(mp)₄
한국진공학회 학술발표회초록집
2004 .08
-
게이트 유전체용 HfO₂박막의 증착 및 열처리 조건에 따른 Nano-Mechanical 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .08
-
Low-temperature growth of wafer-scale MoS2 by MOCVD
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .08
-
증착조건 및 열처리조건에 따른 HfO₂ 게이트 유전막의 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2001 .07
-
MOCVD 법으로 증착한 TiO₂ 박막의 증착거동 및 단차피복성에 대한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2002 .06
-
MOCVD 법을 이용한 ZnO 박막의 제조
한국진공학회 학술발표회초록집
2004 .08
-
증착방법을 달리한 TiO2 박막의 표면처리에 따른 저항변화 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .02
-
MOCVD Bi₄Ti₃O₁₂ 박막의 실리콘 위에서의 증착기구 및 유기금속원료의 펄스주입법에 의한 박막 특성 개선
한국진공학회 학술발표회초록집
2000 .02
-
MOCVD 장치 개발
한국진공학회 학술발표회초록집
1996 .02
-
Rf - magnetron 스퍼터링 법을 이용한 MOS 게이트용 HfO₂ / Hf - silicate 박막의 증착 및 특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2001 .02
-
다결정 역스피넬 CrxFe3-xO₄ 박막에서의 자기저항 효과
한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집
2008 .06
-
AlN 박막을 이용한 투명 저항 변화 메모리 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .02
-
LS - MOCVD 법에 의한 BaTiO3 박막의 성장
한국진공학회 학술발표회초록집
2002 .06
-
Properties of HfSixOy/HfO₂ film as a various Annealing Temperature
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .08
-
범밀도함수론을 이용한 정방정계-HfO₂/Si의 계면 층 구조 연구
Applied Science and Convergence Technology
2009 .01
이 논문의 저자 정보
이 논문과 함께 이용한 논문
최근 본 자료
댓글(0)
0
UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2012-554-003934801