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증착방법에 따른 HfO₂ 게이트 유전막의 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2001 .02
RF magnetron sputtering 방식을 이용하여 직접 증착된 HfO₂ flim의 열처리에 따른 구조 및 전기적 특성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .02
증착조건 및 열처리조건에 따른 HfO₂ 게이트 유전막의 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2001 .07
질소 반응성 RF 마그네트론 스퍼터링에 의해 제조된 As - Deposited Fe - Hf - C - N 박막의 연자기 특성
한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집
1997 .05
고압의 H₂ 가스 열처리에 따른 원자층 증착 HfO₂ 박막의 특성 연구
한국자기학회지
2005 .10
게이트 유전체용 HfO₂박막의 증착 및 열처리 조건에 따른 Nano-Mechanical 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .08
rf 마그네트론 스퍼터링법에 의한 ZnO / SiO₂ / Si박막의 증착 및 특성조사
한국진공학회 학술발표회초록집
1995 .06
RF Magnetron Sputtering법에 의해 증착된 Ni - Zn Ferrite 박막의 물성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1992 .02
DC 스퍼터링법으로 제작된 ITO 박막의 증착조건에 따른 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .02
HfO₂ 박막 MOCVD 증착 및 차세대 저항 메모리 특성 분석 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .02
스퍼터링을 이용한 ITO 박막의 저온 증착
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .02
반응성 RF 마그네트론 스퍼터링으로 증착한 BST 박막의 구조 및 전기적 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .02
RF magnetron sputtering 법으로 제조한 ZnO 박막의 RF 파워에 따른 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .02
Effect of Rapid Thermal Annealing on the Properties of Nitrogen-doped In2O3 Thin Films
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .08
반응성 RF 마그네트론 스퍼터링으로 증착한 AlN 박막의 기판 온도 변화에 따른 특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .02
이온 빔 스퍼터링 방법으로 제작한 Mo 박막의 특성조사
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .02
Electrical and structural properties of HfO₂ deposited by r.f magnetron sputter
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .08
스퍼터링에 의한 금속 나노박막 증착에서 광학적 특성을 이용한 in - situ 박막 두께 측정 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2001 .02
고주파 스퍼터링법으로 증착한 ZnO 박막의 응력 형성
한국진공학회 학술발표회초록집
2000 .02
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