메뉴 건너뛰기
.. 내서재 .. 알림
소속 기관/학교 인증
인증하면 논문, 학술자료 등을  무료로 열람할 수 있어요.
한국대학교, 누리자동차, 시립도서관 등 나의 기관을 확인해보세요
(국내 대학 90% 이상 구독 중)
로그인 회원가입 고객센터 ENG
주제분류
인문학
인문학 일반 역사학 철학 종교학 어문학 기타 인문학
사회과학
사회과학 일반 경영학 관광학 교육학 군사학 문헌정보학 법학 사회학 신문방송학 심리과학 정치외교학 지리학 행정학 경제학 무역학 인류학 기타 사회과학
자연과학
자연과학 일반 물리학 생물학 생활과학 수학·통계학 천문학 지구과학 화학 기타 자연과학
공학
공학 일반 건축공학 기계공학 산업공학 재료·에너지공학 전기전자공학 조선해양공학 화학공학 컴퓨터학 기타공학
의약학
의학 일반 간호학 수의학 약학 한의학 기초의학 임상의학 기타 의약학
농수해양학
농수해양학 일반 농학 수산학 식품과학 임학 축산학 해상운송학 기타 농수해양학
예술체육학
예술 일반 디자인 미술 미용 사진 음악학 의상 체육 공연매체예술 기타 예술체육학
복합학
학제간연구 과학기술학 뇌인지과학 기술정책 기타 복합학

ENG

추천
검색
질문

논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제9권 제4호
발행연도
2000.12
수록면
341 - 345 (5page)

이용수

표지
📌
연구주제
📖
연구배경
🔬
연구방법
🏆
연구결과
AI에게 요청하기
추천
검색
질문

이 논문의 연구 히스토리 (4)

2001

증착조건 및 열처리조건에 따른 HfO₂ 게이트 유전막의 특성
유정호 ,  남석우 ,  남서은 외 2명 한국진공학회 학술발표회초록집 2001.07 학술대회자료
증착방법에 따른 HfO₂ 게이트 유전막의 특성
유정호 ,  남석우 ,  김민주 외 3명 한국진공학회 학술발표회초록집 2001.02 학술대회자료

2000

증착조건 및 열처리조건에 따른 ZrO₂ 박막의 미세구조와 전기적 특성에 관한 연구
유정호 ,  남석우 ,  고대홍 외 2명 Applied Science and Convergence Technology 2000.12 학술저널
증착조건에 따른 ZrO₂ 게이트 유전막의 특성
유정호 ,  남석우 ,  고대홍 한국진공학회 학술발표회초록집 2000.02 학술대회자료

초록· 키워드

오류제보하기
p형 Si (100) 기판 위에 reactive DC magnetron sputtering으로 증착한 ZrO₂ 박막에 대하여 증착조건과 열처리 조건에 따른 미세구조의 변화및 전기적 특성 변화를 관찰하였다. 증착 및 열처리 온도가 증가하고 power가 증가할수록 ZrO₂의 굴절율은 증가되어 이상적인 2.0~2.2에 근접하였다. 상온에서 증착된 ZrO₂ 박막은 비정질이며 300℃에서 증착한 경우 ZrO₂ 박막은 다결정이었다. 산소 분위기에서 열처리를 수행한 박막의 RMS 값은 증착직후보다 높아지고 계면 산화막은 산소의 확산에 의해 두께가 증가하였다. Al/ZrO₂/p-type Si (100)의 C-V과 I-V 특성을 관찰하였고, 그 결과 산소분위기에서 열처리하는 경우 계면 산화막의 두께증가로 Cmax 및 누설전류가 감소함을 알 수 있었다.

목차

요약

Abstract

1. 서론

2. 실험 방법

3. 결과 및 고찰

4. 결론

참고문헌

참고문헌 (0)

참고문헌 신청
참고문헌이 DBpia에서 서비스 중이라면, [참고문헌 신청]을 통해 등록해보세요

함께 읽어보면 좋을 논문

논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!

이 논문의 저자 정보

최근 본 자료

전체보기

댓글(0)

0

UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2019-420-001267740