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Electrical and structural properties of HfO₂ deposited by r.f magnetron sputter
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .08
RF Magnetron Sputtering를 이용한 a축 ZnO:Al 박막의 구조적, 전기적 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .02
박막 형광체 ZnGa₂O₄:Mn2+의 RF Magnetron Sputtering법을 이용한 생장
한국진공학회 학술발표회초록집
2006 .02
Rf - magnetron 스퍼터링 법을 이용한 MOS 게이트용 HfO₂ / Hf - silicate 박막의 증착 및 특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2001 .02
증착조건 및 열처리조건에 따른 HfO₂ 게이트 유전막의 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2001 .07
RF Sputtering으로 증착한 In2O3:C 박막의 구조 전이 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .02
Ce Target을 사용한 Reactive RF Magnetron Sputtering에 의해 Si(100) 기판 위에 증착된 CeO₂ 박막의 구조적, 전기적 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .02
RF magnetron sputtering으로 증착한 비정질 InGaZnO 박막의 광학적, 전기적 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .02
Effect of post heat-treatment on microstructure and dielectric properties of Ba0.5Sr0.5TiO₃ thin films by RF magnetron sputtering
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .02
DC magnetron sputtering을 이용하여 증착한 ZnO 기반의 박막 트랜지스터의 특성 및 stability 향상을 위한 후열처리
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .02
N₂ 분위기에서 RF Magnetron Sputtering을 이용하여 제작된 TiAlNX박막의 열처리 온도에 따른 박막 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
RF Magnetron Sputtering법에 의해 증착된 Ni - Zn Ferrite 박막의 물성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1992 .02
Reactive RF Magnetron Sputtering에 의해 성장된 Si(100)과 Si(111) 기판 위에 증착된 CeO₂ 박막의 구조적, 전기적 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .07
RF magnetron sputtering에 의해 증착된 SnOx 박막의 전기화학적 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
1998 .02
Structural and electrical characterization of CeO₂/HfO₂ as a gate dielectric deposited by r.f magnetron sputter
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .08
RF - magnetron sputtering 방법으로 형성된 RuO₂ 박막의 전기적 특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2004 .08
N₂ 분위기에서 RF magnetron sputtering 방법으로 증착된 TiN박막의 열처리 온도에 따른 내마모 특성 및 표면구조특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
증착방법에 따른 HfO₂ 게이트 유전막의 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2001 .02
Rf magnetron sputtered Co79Cr₂₁ 박막의 자기이방성
한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집
1991 .05
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