고밀도 플라즈마 CVD 방법에 의한 TiN barrier metal 형성과 특성

오대현; 강민성; 오경숙; 이광만; 변종철; 황찬용; 손정원; 최치규

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저자정보: 오대현 강민성 오경숙 이광만 변종철 황찬용 손정원 최치규

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제16회 학술발표회논문개요집

발행연도: 1999.2

수록면: 105 - 105 (1page)

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