지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
이용수
등록된 정보가 없습니다.
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
TDEAT 단일증착원과 TDEAT / NH₃ 혼합증착원으로 증착한 TiN 박막의 특성비교
한국진공학회 학술발표회초록집
1996 .02
TDEAT TiN 증착률에 영향을 미치는 인자들에 대한 연구
Applied Science and Convergence Technology
1998 .08
ICP - CVD로 증착된 a-C : F 박막의 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2002 .02
아크로 증착된 TiN 박막의 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .08
이온빔보조증착에 의한 TiN 박막의 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
1997 .02
C - V 측정에 의한 Cu 확산방지막 특성 평가
Applied Science and Convergence Technology
1996 .12
Thermal - CVD를 이용한 미세결정성 carbon 박막의 증착
한국진공학회 학술발표회초록집
2000 .07
Pulse - CVD를 이용한 gate용 Ta₂O5 박막의 증착 및 특성분석
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .02
고온에서 Sputtering한 TiN 박막의 증착조건에 따른 특성변화
한국진공학회 학술발표회초록집
1995 .02
급속열처리에 의한 MOCVD - Cu / TiN / Si 구조의 후열처리 특성
Applied Science and Convergence Technology
1997 .02
W - TiN 복층 전극 소자에서 TiN 박막 형성 조건에 따른 특성 분석
Applied Science and Convergence Technology
2001 .07
스퍼터링 증착변수에 따른 SKD 61강 기판상 TiN 박막의 증착거동 변화
Applied Science and Convergence Technology
1998 .11
Cu(Mg) alloy 금속배선에 의한 TiN 확산방지막의 특성개선
Applied Science and Convergence Technology
2001 .07
사이클릭 화학 기상 증착법 (C-CVD: Cyclic Chemical Vapor Deposition) 기술을 이용한 코발트(Cobalt) 박막의 성장 거동
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .02
Plasma 후처리에 따른 CVD TiN 막의 특성변화
한국진공학회 학술발표회초록집
1996 .02
HDP - CVD 방법으로 증착한 Si - O - C(-H) 박막의 구조분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2002 .02
XPS를 이용한 Cu / TiN의 계면에 관한 연구
Applied Science and Convergence Technology
1997 .11
W-B-C-N 확산방지막의 특성 및 열적 안정성 연구
한국자기학회지
2006 .02
PE - MOCVD로 증착된 Hf(C,N)박막의 Cu에 대한 확산 방지 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
1998 .02
XPS를 이용한 Cu / Polyimide 와 Cu / TiN 계에 대한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2000 .02
0