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이환희 (광운대학교) 이태현 (광운대학교) 권희태 (광운대학교) 신기원 (광운대학교) 김우재 (광운대학교) 권기청 (광운대학교)
저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 2018년 한국진공학회 (제55회 하계정기학술대회 초록집)
발행연도
2018.8
수록면
106 - 106 (1page)

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2019

유도 결합형 플라즈마(ICP)에서의 플라즈마 커패시턴스 측정에 관한 연구
이환희 전자바이오물리학과 2019.01 학위논문

2018

캐패시턴스 변화를 이용한 진공 플라즈마 실시간 진단 기술
이환희 ,  이태현 ,  권희태 외 3명 한국진공학회 학술발표회초록집 2018.08 학술대회자료

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#플라즈마 진단 #캐패시턴스 변화 #플라즈마 밀도

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TFT-LCD 제조에 사용되는 진공 공정과 플라즈마의 특성
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RAPID THERMAL PROCESS시 실리콘 웨이퍼 온도 분포와 열 응력 해석
안강호 한국진공학회 학술발표회초록집 1993 .02

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