고밀도 플라즈마 산화물 에칭 - 현황 및 전망

이내웅

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 이내웅

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제15회 학술발표회논문개요집

발행연도: 1998.7

수록면: 142 - 142 (1page)

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