TiN 기판상에서 CVD텅스텐의 핵생성에 관한 연구

이종무; 김의송; 이종길

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 이종무 김의송 이종길

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제2회 학술발표회논문개요집

발행연도: 1992.2

수록면: 92 - 92 (1page)

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Chongmu Lee

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