고밀도 플라즈마 CVD 방법에 의한 TiN barrier metal 형성과 특성

오대현 ,  강민성 ,  오경숙 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

1999 .02

ICP - CVD로 증착된 a-C : F 박막의 특성 연구

강권삼 ,  고호정 ,  최치규

한국진공학회 학술발표회초록집

2002 .02

Plasma 후처리에 따른 CVD TiN 막의 특성변화

김도형

한국진공학회 학술발표회초록집

1996 .02

Generation of Charged Silicon Nanoparticles and their Deposition into Crystalline Films using DC-Biased Substrate in Silane ICP-CVD Process

Seung-Wan Yoo ,  Shin-Jae You ,  Hee-Jung Yeom 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .08

Synthesis and Evaluation of a Novel Film TiN-WC/TiN

Shi-Hong Zhang ,  Jae-Hong Yoon ,  Tong-Yul Cho 외 1명

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

2008 .12

TiN 기판상에서 CVD텅스텐의 핵생성에 관한 연구

이종무 ,  김의송 ,  이종길

한국진공학회 학술발표회초록집

1992 .02

ICP-MS와 LA-ICP-MS를 이용한 보다 효율적인 미량원소 분석법 연구

한승희 ,  김태훈 ,  이종익 외 4명

대한지질학회 학술대회

2013 .10

A study on the change of thermal stability and optical properties according to the application of carbon diffusion barrier

Se ,  an Pa ,  k 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .08

Failure mechanism of very thin diffusion barriers

홍민기 ,  김경중 ,  위명용

한국진공학회 학술발표회초록집

2000 .07

W - TiN 복층 전극 소자에서 TiN 박막 형성 조건에 따른 특성 분석

윤선필 ,  노관종 ,  양성우 외 4명

Applied Science and Convergence Technology

2001 .07

ALD법으로 증착한 TiN막의 특성

김재범 ,  홍현석 ,  오기영 외 1명

Applied Science and Convergence Technology

2002 .09

Surface characterization of plasma-polymerized ethylenediamine thin films deposited by ICP-CVD and their protein chip application

Jinmo Kim ,  Donggun Jung ,  Dae Won Moon 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2005 .08

Rare Earth Elements analysis in monazite using Na₂O₂ sintering and by ICP-MS and ICP-OES

최원명 ,  박일용 ,  음철헌

한국분석과학회 학술대회

2015 .11

TMOS / O₂/ N₂(N₂O) ICP - CVD법을 이용한 SION 증착에 관한 연구

강명석 ,  정철진 ,  김선자 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2003 .08

CVD에 의한 Ta₂O5 박막의 성장및 물성 분석

김선우 ,  김형준

한국진공학회 학술발표회초록집

1991 .07

Magnetic Effects of La0.67Sr0.33MnO₃ on W-C-N Diffusion Barrier Thin Films

Moon Kyoo Song ,  Ji Seop So ,  In Bo Shim 외 1명

한국자기학회지

2005 .04

Direct Deposition of microcrystalline Si Films at Low Temperatures (＜200 ℃) by Catalytic CVD

Tae-Hwan Kim ,  Kyung-Min Lee ,  Sunghwan Won 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2008 .02

화학기상증착법(CVD)을 이용한 진공 박막 공정기술

홍완식

진공이야기

2014 .09

V-Based Self-Forming Layers as Cu Diffusion Barrier on Low-k Samples

박재형 ,  문대용 ,  한동석 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2013 .02

ICP-AES및 ICP-MS를 이용한 패류 중 유해중금속 분석방법 연구

서민정 ,  이지나 ,  임수진 외 1명

한국분석과학회 학술대회

2014 .11