2.45 ㎓ ECR 이온원 플라즈마 특성

서창석 ,  정승호 ,  김범열 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .02

ECR 플라즈마 장치의 제작

오수기 ,  정근모

Applied Science and Convergence Technology

1992 .02

Necessity and effects of Thermal Blocking Liner for ECR plasma

권성용 ,  장진녕 ,  홍문표

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .02

ECR 플라즈마 식각장치의 고진공 시스템제작 및 반도체 식각특성연구

안무선

한국진공학회 학술발표회초록집

1991 .07

ECR Plasma Deposition System의 제작과 특성 및 Plasma의 Diagnosis

손영호 ,  배인호 ,  박형국 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

1999 .02

ECR 플라즈마를 이용한 액체질소온도에서의 poly - Si 및 Si 식각연구

박철웅 ,  곽종구 ,  박준교 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

1992 .07

ECR plasma heating parameters in mirror and cusp configurations

M.A.I. Elga ,  hy ,  Soong Hyeong lee 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .02

질소ECR 플라즈마에 노출된 Al 박막의 분광타원해석

허근무 ,  이순일 ,  김상열 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

1993 .02

ECR - PECVD로 증착된 a - C : H 박막의 열처리 효과

손영호 ,  정우철 ,  정재인 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2001 .02

ECR 플라즈마의 식각 공정변수에 관한 연구

안무선 ,  지철묵 ,  김영진 외 2명

Applied Science and Convergence Technology

1992 .02

질소 ECR 플라즈마에 노출된 Al 박막의 분광타원해석

허근무 ,  이순일 ,  김상열 외 1명

Applied Science and Convergence Technology

1993 .03

Magnetic-Field-Dependent Spatial Configuration of Erosion and Deposition of a-C:H Thin Films in an ECR Chamber

Sun-A Pa ,  k ,  Hyeon Seob So 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .02

Experimental Research of an ECR Heating with R-wave in a Helicon Plasma Source

Ku dongjin ,  AN C. Y ,  Pa 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .08

Measurement of Electron Temperature of ECR Plasma by using Helium Line Intensity Ratios

Seong Bong Kim ,  Dae Chul Kim ,  Suk Jae Yoo 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .02

ECR - PECVD 방법으로 증착된 a-C:H 박막의 수소함량 측정

손영호 ,  허영준 ,  정우철 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2000 .07

ECR - PECVD 장치의 제작과 특성

손영호 ,  정우철 ,  정재인 외 4명

Applied Science and Convergence Technology

2000 .02

하이퍼써멀 에너지 영역에서 높은 플럭스 입자빔 생성을 위한 플라즈마 발생원

유석재 ,  김성봉

Applied Science and Convergence Technology

2009 .05

Electron Temperature and Ion Density measurements of an ECR Plasma with Magnetron Magnetic Field Configuration

김성봉 ,  김대철 ,  유석재 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .08

고전류 금속이온빔 발생을 위한 도파관 직접 연결형태의 ECR 플라즈마 소스 개발

장수욱 ,  유현종 ,  추원일

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .02

초전도 ECR 이온원을 위한 RF 시스템 설계

정승호 ,  왕선정 ,  인상렬

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .08