질소ECR 플라즈마에 노출된 Al 박막의 분광타원해석

허근무; 이순일; 김상열; 오수기

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 허근무 이순일 김상열 오수기

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제4회 학술발표회논문개요집

발행연도: 1993.2

수록면: 55 - 56 (2page)

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	저자 메타	소속기관, 소속부서, 직급, 연구분야, 연구키워드, 이용수, 피인용수, 저자 논문활용도

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