하이퍼써멀 에너지 영역에서 높은 플럭스 입자빔 생성을 위한 플라즈마 발생원

유석재 ,  김성봉

Applied Science and Convergence Technology

2009 .05

Measurement of Electron Temperature of ECR Plasma by using Helium Line Intensity Ratios

Seong Bong Kim ,  Dae Chul Kim ,  Suk Jae Yoo 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .02

ECR 플라즈마 장치의 제작

오수기 ,  정근모

Applied Science and Convergence Technology

1992 .02

ECR plasma heating parameters in mirror and cusp configurations

M.A.I. Elga ,  hy ,  Soong Hyeong lee 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .02

ECR Plasma Deposition System의 제작과 특성 및 Plasma의 Diagnosis

손영호 ,  배인호 ,  박형국 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

1999 .02

Necessity and effects of Thermal Blocking Liner for ECR plasma

권성용 ,  장진녕 ,  홍문표

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .02

Magnetic-Field-Dependent Spatial Configuration of Erosion and Deposition of a-C:H Thin Films in an ECR Chamber

Sun-A Pa ,  k ,  Hyeon Seob So 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .02

Electrical diagnosis method for measurement of electron temperature and ion density using floating potential difference applied square voltage

Hyundong Eo ,  Moo-Young Lee ,  Kyung-Hyun Kim 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2018 .08

Measurement of Electron Temperature and Plasma Density in Coplanar AC Plasma Display Panels

I. R. Cho ,  M. W. Moon ,  C. G. Ryu 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2003 .02

Measurement of Electron Temperature and Plasma Density in Coplanar AC Plasma Display Panels

I. R. Cho ,  M. W. Moon ,  C. G. Ryu 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2003 .08

High density micro ion beam by plasma ion source

Masaki SUGAWARA ,  Ha ,  uo KASAHARA 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

Two - Dimensional Measurement of Electron Temperature and Plasma Density in coplanar AC Plasma Display Panel

M. W. Moon ,  I. R. Cho ,  W. B Pa 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2004 .02

Microwave Electric Field and Magnetic Field Simulations of an ECR Plasma Source for Hyperthermal Neutral Beam Generation

이희재 ,  김성봉 ,  유석재 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .02

ECR 염소 플라즈마를 이용한 구리 박막의 식각에 관한 연구

박홍배 ,  이정용 ,  장홍영 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

1995 .02

The electron cyclotron resonance (ECR) at various conditions in the inductively coupled plasma(ICP)

정진욱 ,  김성식 ,  이상원 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2002 .02

Three-Dimensional Particle-in-cell Simulation of Electron Cyclotron Resonance Plasma with Belt-type Magnet Assembly

Hui Jea Lee ,  Seong Bong Kim ,  Suk Jae Yoo 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2014 .02

Experimental Research of an ECR Heating with R-wave in a Helicon Plasma Source

Ku dongjin ,  AN C. Y ,  Pa 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .08

Measurement of electron density of atmospheric pressure Ne plasma jet by laser heterodyne Interferometer with voltage

Jun Sup Lim ,  Young June Hong ,  Eun Ha Choi

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .08

Correlation between Coil Configurations and Discharge Characteristics of a Magnetized Inductively Coupled Plasma

Hee-Woon Cheong

Journal of Magnetics

2016 .06

2.45 ㎓ ECR 이온원 플라즈마 특성

서창석 ,  정승호 ,  김범열 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .02