ECR plasma heating parameters in mirror and cusp configurations

M.A.I. Elga ,  hy ,  Soong Hyeong lee 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .02

CFD-Plasma & K-Plasma를 이용한 plasma simulation

유동훈

한국진공학회 학술발표회초록집

2008 .08

Necessity and effects of Thermal Blocking Liner for ECR plasma

권성용 ,  장진녕 ,  홍문표

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .02

ECR 플라즈마 장치의 제작

오수기 ,  정근모

Applied Science and Convergence Technology

1992 .02

Development of process plasma diagnosis and control system using plasma emission light diagnostics

Jin-Woo CHOI ,  Ye-Seul LEE ,  Tae-Hoon JO 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

낮은 GWP를 가진 CxF2xO 을 이용한 SiO2 식각 공정 특성에 관한 연구

탁현우 ,  문룡 ,  성다인 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .02

Development of an Improved Numerical Methodology for Design and Modification of Large Area Plasma Processing Chamber

김호준 ,  이승무 ,  원제형

한국진공학회 학술발표회초록집

2014 .02

Measurement of characteristics of plasma discharge in liquid

Ju-Sung Kim ,  Boo-Ki Min ,  Seong-Oun Kang 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .08

하이퍼써멀 에너지 영역에서 높은 플럭스 입자빔 생성을 위한 플라즈마 발생원

유석재 ,  김성봉

Applied Science and Convergence Technology

2009 .05

Plasma-induced reaction at plasma-liquid and plasma-polymeric film interface by AC-driven atmospheric pressure plasma

김태환 ,  이승환

한국진공학회 학술발표회초록집

2019 .08

Flexible Plasma Sheets

Guangsup Cho ,  Yunjung Kim

Applied Science and Convergence Technology

2018 .03

Review of Plasma Sources

장홍영

한국진공학회 학술발표회초록집

2006 .02

Effect of hybrid plasma source on O radical generation in oxygen plasma

Kwan-Yong Kim ,  Kyung-Hyun Kim ,  Young-Hun Hong 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2018 .08

Inductively Coupled Plasma 장치에서 Hybrid Plasma Model을 활용한 C₂F₈/ O₂ 가스의 특성 해석

김환호 ,  이정열 ,  박희성 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2019 .08

Enhancement of the Virtual Metrology Performance for Plasma-assisted Processes by Using Plasma Information (PI) Parameters

Seolhye Pa ,  k ,  Juyoung Lee 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .08

Plasma Properties Data Center Activities for Plasma Application in the National Fusion Research Institute

송미영 ,  김대철 ,  권득철 외 16명

한국진공학회 학술발표회초록집

2019 .08

Hydrogen Plasma와 Oxygen Plasma를 이용한 50 ㎚ 텅스텐 패턴의 Oxidation 및 Reduction에 관한 연구

김종규 ,  조성일 ,  남석우 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .08

Experimental Research of an ECR Heating with R-wave in a Helicon Plasma Source

Ku dongjin ,  AN C. Y ,  Pa 외 3명

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2012 .08

K - PLASMA 소개

서광원

한국진공학회 학술발표회초록집

2008 .02

Measurement of Electron Temperature of ECR Plasma by using Helium Line Intensity Ratios

Seong Bong Kim ,  Dae Chul Kim ,  Suk Jae Yoo 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .02