In-situ magnetization measurements and ex-situ morphological analysis of electrodeposited cobalt onto chemical vapor deposition graphene/SiO₂/Si

F ,  anco ,  Vinicius C. De 외 10명

Carbon letters

2017 .01

ECR 플라즈마 식각장치의 고진공 시스템제작 및 반도체 식각특성연구

안무선

한국진공학회 학술발표회초록집

1991 .07

2.45 ㎓ ECR 이온원 플라즈마 특성

서창석 ,  정승호 ,  김범열 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .02

ECR 플라즈마의 식각 공정변수에 관한 연구

안무선 ,  지철묵 ,  김영진 외 2명

Applied Science and Convergence Technology

1992 .02

ECR 염소 플라즈마를 이용한 구리 박막의 식각에 관한 연구

박홍배 ,  이정용 ,  장홍영 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

1995 .02

[Invited Talk] 대기압 플라즈마를 이용한 a-Si 식각 기술

노태협 ,  석동찬 ,  유승열

한국진공학회 학술발표회초록집

2013 .02

ECR Microwave 중성입자빔을 이용한 Si 양자점 형성 및 특성분석

박종배 ,  오경숙 ,  김대철 외 6명

한국진공학회 학술발표회초록집

2011 .08

고밀도 플라즈마를 사용한 Cl₂ / Poly - Si 건식 식각

이휘건

Applied Science and Convergence Technology

1999 .02

질소ECR 플라즈마에 노출된 Al 박막의 분광타원해석

허근무 ,  이순일 ,  김상열 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

1993 .02

질소 ECR 플라즈마에 노출된 Al 박막의 분광타원해석

허근무 ,  이순일 ,  김상열 외 1명

Applied Science and Convergence Technology

1993 .03

X선회절을 이용한 Si / SiO₂ 및 Si / SiO₂ / poly - Si의 응력측정

임규홍 ,  김도진 ,  김상기 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

1994 .02

ECR 플라즈마 장치의 제작

오수기 ,  정근모

Applied Science and Convergence Technology

1992 .02

A first principles study on magnetism of Fe3Si on Si(001) and Si(111) substrates

Do ,  j Odkhuu ,  Won Seok Yun 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .02

MICROSTRUCTURES AND ATOMIC BEHAVIORS OF SEVERAL METAL ELECTRODE SYSTEMS ON SiO₂ / Si ANNEALED IN O₂ AND N₂ AMBIENTS : Pt / (POLY - Si, TiN, AND Ti), Ru / POLY - Si, AND Ir / (POLY - Si AND TiN)

Cha Yeon Kim ,  Hyun Ja Kwon ,  Hyun Ha Kim 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

1997 .02

ELA Poly-Si과 SLS Poly-Si에서 Boron Activation에 관한 연구

홍원의 ,  노재상

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .02

Si(111) - 7×7 표면의 산화 및 식각의 온도의존성에 관한 STM 연구

하정숙 ,  박강호 ,  박성주 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

1996 .02

Metal nanowires formed on high - index Si surfaces : Bi / Si(5 5 12) vs Ag/ Si(5 5 12)

S. H. Cho ,  J. M. Seo

한국진공학회 학술발표회초록집

2004 .08

Si(5 5 12)에 존재하는 안정된 Si(6 9 17) Facet의 구조

주영철 ,  조상희 ,  전무현 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2002 .06

Si - O - C - H 저유전율 박막의 특성 연구 Study of Low - k Si - O - C - H Thin Films

김윤해 ,  이석규 ,  김형준

한국진공학회 학술발표회초록집

1999 .07

승온시 Si₂H6 가스 주입을 이용한 표면 SiO₂의 억제 및 비정질 Si의 고상 에피텍시에 관한 연구

최태희 ,  남승의 ,  김형준

Applied Science and Convergence Technology

1996 .09